技术编号：13321060
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体净化领域，尤其涉及一种气体净化装置。背景技术在工业的场域中，随着对于产品的规格越来越精密，对于工艺环境的要求也越来越严格。工艺环境的空气也是影响工艺品质的一个因素。因此，在工艺环境中通常会设置气体净化装置以维持工艺环境的空气品质。气体净化装置可以降低空气中悬浮微颗粒的浓度、气体中的含有酸碱值等不利于工艺或是工安的因素。一般而言，净化气体的方式是将待处理的气体通入气体净化装置中含有吸附材料的腔室中，并进行喷洒清洗，通过清洗及吸附来净化气体。如果待处理气体通入腔室的风速过快或过慢、流量...
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