技术编号：1332319
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体清洗设备，特别是涉及ー种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置。背景技术如图1所示，目前在液晶显示器制造エ艺中基板清洗及半导体制造行业基板清洗装置主要包括滚刷主体01和驱动滚刷主体01的驱动装置，目前，市场上所供应的基板清洗装置中，滚刷主体01为实心不锈钢金属，滚刷主体01的外壁具有呢绒材质的刷毛02。驱动装置驱动滚刷主体01运动，并通过刷毛02对基板进行清洁。但是，上述基板清洗装置中的滚刷主体01中液体无法与刷毛02同时作用，没有自清洁能力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。