专利名称：一种基板清洗装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，特别是涉及ー种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置。
背景技术：
如图1所示，目前在液晶显示器制造エ艺中基板清洗及半导体制造行业基板清洗装置主要包括滚刷主体01和驱动滚刷主体01的驱动装置，目前，市场上所供应的基板清洗装置中，滚刷主体01为实心不锈钢金属，滚刷主体01的外壁具有呢绒材质的刷毛02。驱动装置驱动滚刷主体01运动，并通过刷毛02对基板进行清洁。但是，上述基板清洗装置中的滚刷主体01中液体无法与刷毛02同时作用，没有自清洁能力，需定期人工清洗。
实用新型内容本实用新型提供一种半导体制造行业基板清洗装置，该清洗装置的刷毛能够实现自清洁。为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案一种涡轮式液刷混合作用基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，所述滚刷主体还具有液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部,所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液ロ，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 每ー个所述进液ロ处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每ー个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定；至少ー个喷射通道，内端开ロ位于所述液体流动腔室内壁，外端开ロ位于所述滚刷主体外表面。优选地，所述液体流动腔室内壁设有螺纹状导水沟道，所述螺纹状导水沟道的旋向和所述滚刷主体的旋转方向相同，所述喷射通道的内端开ロ位于所述螺纹状导水沟道内。优选地，所述喷射通道延伸方向与所述导水沟道的涡流方向相同。优选地，所述刷毛与所述喷射通道的外端开ロ间隔排列。优选地，所述刷毛呈螺纹状固定于滚刷主体外表面。优选地，所述液体流动腔室内贯穿ー根带有螺旋轮片的涡轮杆，所述涡轮杆和所述滚刷主体同轴固定。优选地，所述驱动装置为伺服马达，所述滚刷主体一端设置磁传动磁盘，所述滚刷主体一端设置的磁传动磁盘与动カ系统伺服马达连接的磁传动磁盘磁连接。本实用新型提供的基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，所述滚刷主体还具有[0020]液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部,所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液ロ，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 每ー个所述进液ロ处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每ー个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定；至少ー个喷射通道，内端开ロ位于所述液体腔室内壁，外端开ロ位于所述滚刷主体外表面。本实用新型提供的基板清洗装置，在使用过程中，驱动装置驱动滚刷主体转动，液体通过进液ロ进入液体流动腔室内，并通过喷射通道喷出，从而实现液体与刷毛同时作用，实现自清洁。所以，本实用新型提供的基板清洗装置使刷毛能够实现自清洁。另外本实用新型提供的基板清洗装置由于内部设有液体流动腔室，可以减轻其自身重量，驱动负荷小，可大幅度延长附属部品使用寿命。
图1为现有滚刷主体结构示意图；图2为涡流式液刷混合作用滚刷主体整体图；图3为涡流式液刷混合作用滚刷主体沿着滚刷主体轴向横截面图；图4为涡流式液刷混合作用滚刷主体内部剖面图；图5带有涡杆装置的滚刷主体内部横截面图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请參考图2和图3 ;其中，图2为本实用新型的整体图；图3为本实用新型沿着滚刷主体轴向横截面图。本实用新型提供的基板清洗装置，包括滚刷主体I和驱动滚刷主体I旋转的驱动装置，滚刷主体I外表面具有刷毛11，滚刷主体I还具有液体流动腔室13，位于滚刷主体I内部，液体流动腔室13具有至少ー个进液ロ15 ;进液ロ 15的位置只要与流动腔室13连通即可。至少ー个喷射通道12，内端开ロ位于液体流动腔室13内壁，外端开ロ 121位于滚刷主体I外表面。本实用新型提供的基板清洗装置，在使用过程中，驱动装置驱动滚刷主体I转动，液体通过进液ロ 15进入液体流动腔室13内，并通过喷射通道12喷出，从而实现液体与刷毛11同时作用，实现自清洁。所以，本实用新型提供的基板清洗装置使刷毛能够实现自清洁。另外，本实用新型提供的基板清洗装置由于内部设有液体流动腔室13，可以减轻其自身重量，驱动负荷小，可大幅度延长附属部品使用寿命。如图2所示，在上述技术方案的基础上，进ー步地，液体流动腔室13贯穿滚刷主体I的长度方向，且进液ロ 15为两个，分别位于滚刷主体I的两个端面。两个进液ロ 15分别位于滚刷主体I的两端,可以将液体由滚刷主体I的两端流入液体流动腔室13内，使液体流动腔室13内压カ均匀。具体地，每ー个进液ロ 15处设有转动时将液体吸入液体流动腔室13内的半开式叶轮14，叶轮14包括多个叶片141和一个端盖142，其中每ー个叶片141的一端固定于端盖142，且每ー个叶片141与滚刷主体I之间相对固定。滚刷清洗时,滚刷主体I两端进液ロ 15处的叶轮14位于封闭的液体槽中，滚刷主体I两端的叶轮14旋转时，可以将液体槽中的液体通过滚刷主体I两端设有的进液ロ 15吸入液体流动腔室13内。具体地，如图4所示，液体流动腔室13内壁设有螺纹状导水沟道131，螺纹状导水沟道131的旋向和滚刷主体I的旋转方向相同，喷射通道12的内端开ロ位于螺纹状导水沟道131内。液体在滚刷主体I两端设有的叶轮14作用下，进入螺纹状导水沟道131内，螺纹状导水沟道131使液体呈涡流状向滚刷主体I中部流动，进而对液体进行加压，从而使液体进入喷射通道12内，由喷射通道12的外端开ロ 121呈曲线喷出，提高基板清洗装置的清洗能力。同时，此种设计方式可进ー步减轻基板清洗装置自身重量，减小驱动负荷。具体地，如图3所示，喷射通道12延伸方向与导水沟道131的涡流方向相同。使喷射通道12与该喷射通道12内端开ロ处的液体流动方向一致，便于液体进入喷射通道12内，进而由喷射通道12的外端开ロ 121喷出。具体地，刷毛11与喷射通道12的外端开ロ 121间隔排列。液体由喷射通道12喷出时，使液体呈曲线尽可能的喷射到刷毛11与基板的接触点，提高基板清洗装置的清洗能力。当然，可以优选刷毛11与喷射通道12的外端开ロ 121等距离间隔排列，便于滚刷的加工制造。具体地，刷毛11呈螺纹状固定于滚刷主体I外表面。刷毛11可以呈螺纹状缠绕在滚刷主体I上，上述结构可以在滚刷主体I旋转时，将清洗赃物导向滚刷主体I的一端，进而将清洗赃物排除。当然，刷毛11也可以沿着滚刷主体I轴向方向，呈螺纹状固定在滚刷主体I表面上。具体地，如图5所示，液体流动腔室13内贯穿ー根带有螺旋轮片21的涡轮杆2，涡轮杆2和滚刷主体I同轴固定。进入液体流动腔室内13的液体在涡轮杆2作用下再次加压，使喷射通道12喷出的液体实现泡沫喷射功能。同时可以用同一驱动装置驱动涡轮杆2和滚刷主体I转动。具体地，驱动装置为伺服马达，滚刷主体I 一端设置的磁传动磁盘3与动カ系统伺服马达连接的磁传动磁盘传动磁连接。由于两个磁盘的相对磁作用，滚刷主体I上的传动磁盘3也开始动作，进而实现对滚刷主体I和涡轮杆2的驱动。当然，驱动装置还可以选择其他装置，如电机等，通过链轮、齿轮和带轮等传输动力。这里不再一一赘述。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，其特征在于，所述滚刷主体还具有 液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液口，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 每一个所述进液口处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每一个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定； 至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体流动腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。
2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述液体流动腔室内壁设有螺纹状导水沟道，所述螺纹状导水沟道的旋向和所述滚刷主体的旋转方向相同，每一个所述喷射通道的内端开口位于所述螺纹状导水沟道内。
3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述喷射通道延伸方向与所述导水沟道的涡流方向相同。
4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述刷毛与所述喷射通道的外端开口间隔排列。
5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，所述刷毛呈螺纹状固定于所述滚刷主体外表面。
6.根据权利要求f5任一项所述的基板清洗装置，其特征在于，所述液体流动腔室内贯穿一根带有螺旋轮片的涡轮杆，所述涡轮杆和所述滚刷主体同轴固定。
7.根据权利要求6所述的基板清洗装置，其特征在于，所述驱动装置为伺服马达，所述滚刷主体一端设置磁传动磁盘，所述滚刷主体一端设置的磁传动磁盘与动力系统伺服马达连接的磁传动磁盘磁连接。
专利摘要本实用新型公开了一种涉及半导体清洗设备技术领域，特别是涉及一种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，所述滚刷主体还具有液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室具有至少一个进液口；至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体流动腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。上述基板清洗装置，在使用过程中，滚刷主体转动，液体通过进液口进入液体流动腔室内，并通过喷射通道喷出，可以使液体呈曲线尽可能的喷淋到毛刷与基板的接触点。所以，本实用新型提供的基板清洗装置使刷毛能够实现自清洁。
文档编号B08B1/04GK202860872SQ201220422568
公开日2013年4月10日 申请日期2012年8月23日 优先权日2012年8月23日
发明者李志宾, 刘国梁 申请人:北京京东方光电科技有限公司