技术编号：13335737
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜夹具技术领域，尤其涉及一种用于镀膜装置的镀膜夹具。背景技术镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质层，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性。目前镀膜广泛应用于光学、半导体等诸多领域，薄膜制作通常以物理蒸镀法为主，该方法为将薄膜材料由固态转化为气态或离子态的材料，由蒸发源穿越空间抵达基板表面，材料抵达基板表面后，将沉积而逐渐形成薄膜。现有的镀膜装置中，镀膜夹具的设计一般为将装卡镀膜材料的夹具镂空部分设计为要求形状，并利用夹紧或挡边装置固定材料。利用夹紧...
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