技术编号:13341239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种太阳能电池板生产设备,具体涉及一种太阳能电池板表面杂物颗粒尤其是微细颗粒吹扫装置。背景技术常规晶体硅太阳电池工艺流程通常包括如下工艺步骤:制绒→扩散→刻蚀→PECVD→丝网印刷→烧结→测试。在PECVD工艺段,为追求更高的电池转换效率,管式PECVD的使用愈趋普遍。但在管式PECVD工艺过程,硅片往往处于微颗粒较多的环境中。这些微颗粒的来源通常包括如下几方面:插片过程硅片与石墨舟卡点间的硬性碰撞、等离子体轰击过程引起的硅片表面损伤、冷热循环造成的陶瓷棒损坏等。经PECVD工艺处...
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