技术编号：13426032
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以非接触方式检查形成于基板上的导电体图案的缺陷，修补短路及断线的缺陷的非接触型电路图案检查修复装置。背景技术近年来，显示器件的主流是在玻璃基板上使用了液晶的液晶显示器、或利用等离子体的等离子体显示器件。在这些显示器件的制造工序中，对形成于大型玻璃基板上的形成多个显示器件的电路布线的导电体图案进行有无断线及短路的缺陷检查。另外，如果考虑相对于制品的成品率，则如果检测到的导电体图案的缺陷能够修复，则需要进行修复处理(修补处理(Repairprocess))。例如，专利文献1：日本特开200...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。