技术编号:1342918
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及基片清洗领域,具体涉及一种用于清洗铌酸锂基片的装置。背景技术在现有技术中,清洗铌酸锂基片时普遍采用湿法清洗,清洗过程中由于没有固定装置,一般通过手或简单夹具夹持基片,虽然可以抓住,但是并不能完全去除基片表面杂质,无法保证其表面的洁净度,同时还会对基片产生应力,损伤基片晶向结构,此外人工清洗铌酸锂基片的效率极低。因此本领域的技术人员急需一种可以提高清洗基片效率并确保高洁净度的清洗装置。发明内容本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处,提供一...
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