技术编号:1360542
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种还原炉炉筒清洗方法,尤其是。 背景技术“硅油”是一种大分子量的硅卤化物,含硅25%呈油状的物质,这种油状物是在还原过程中低温处产生的(低于300°C ),往往沉积在炉壁、底盘、观察孔石英片等冷壁处。硅油有强烈的吸水性,因而在拆炉时,硅油强烈的吸收空气中的水份同时游离出氯化氢而腐蚀设备。所以炉筒必须定时的进行清洗。一般的清洗方法用高压水枪进行冲洗,再用氮气吹干, 然后打磨,最后再用无水乙醇擦拭。实践证明,由于清洗过程中要对炉壁进行打磨,导致大量...
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