技术编号：13664600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及示教夹具、基板处理装置以及示教方法。
背景技术
作为半导体器件(装置)的制造工序之一，将基板载置在基板保持件上收纳到反应炉内，并进行成膜和退火等各种基板处理。在进行这些工序的基板处理装置中，作为处理对象的基板通过预先设于装置内的基板移载装置而在基板保持件与基板收纳容器之间进行搬运。
用于利用这种基板移载装置决定基板在基板保持件或基板收纳容器内的搬运位置的作业(示教)以往都是依赖于作业人员的感觉来进行的。即，以往的示教方法例如在决定基板保持件的搬...
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