一种银铜双金属MACE法制备黑硅结构的方法与流程技术资料下载

技术编号:13761969

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本发明涉及一种低成本的制备黑硅结构的方法,属于光电技术领域。该发明采用Ag和Cu双金属辅助于多晶硅表面进行化学腐蚀,相对于现有的Ag辅助化学腐蚀,该发明使AgNO3消耗量降低几十倍以上,且工艺简单,降低了黑硅制备成本,可实现大面积黑硅的批量制备,并利用纳米重构溶液对黑硅结构进行优化处理的方法,在高转换效率的黑硅太阳电池制备中有巨大的应用潜力。

背景技术

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