技术编号：13765902
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种尤其是作为电子器件制造装置中使用的指示器有用的使用有无机物质作为变色层的等离子体处理检测指示器。
背景技术
以往，在电子器件的制造工序中，对电子器件基板(被处理基板)进行各种处理。例如，在电子器件为半导体的情况下，经过投入半导体晶片(晶片)之后形成绝缘膜或金属膜的成膜工序、形成光抗蚀剂图案的光刻工序、使用光抗蚀剂图案将膜进行加工的蚀刻工序、在半导体晶片上形成导电层的杂质添加工序(也称为掺杂或扩散工序)、将具有凹凸的膜的表面进行抛光而使其平坦的CMP工序...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。