技术编号:1397719
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅原料酸洗设备,尤其是涉及多晶硅原料酸洗槽。技术背景现有的多晶硅生产工艺中,首先设有原料的酸洗工序,即将原料放入硝酸或/和 氢氟酸中进行浸泡作用1-3分钟。在该工序过程中,由于有一定的酸性气体排出,往往会对 人体产生一定的损害。为减少对操作者的影响,目前的酸洗工序通常设定在酸洗槽中进行, 酸洗槽上设置有抽风机,抽风孔设置于上部或侧面,这样,会把大部分的酸性气体通过抽风 机抽走,从而减少对操作者健康的损害。但是,实践表明,将抽风孔设置于上部...
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