专利名称：多晶硅原料酸洗槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅原料酸洗设备，尤其是涉及多晶硅原料酸洗槽。
技术背景现有的多晶硅生产工艺中，首先设有原料的酸洗工序，即将原料放入硝酸或/和 氢氟酸中进行浸泡作用1-3分钟。在该工序过程中，由于有一定的酸性气体排出，往往会对 人体产生一定的损害。为减少对操作者的影响，目前的酸洗工序通常设定在酸洗槽中进行， 酸洗槽上设置有抽风机，抽风孔设置于上部或侧面，这样，会把大部分的酸性气体通过抽风 机抽走，从而减少对操作者健康的损害。但是，实践表明，将抽风孔设置于上部或侧面，抽风 效果不理想，通常还会有相当量的气体被操作者吸入肺中，这样会影响到操作者的身体健康。
发明内容本实用新型的目的是提供一种多晶硅原料酸洗槽，它可有效地保障操作者在多晶 硅原料的酸洗过程中，免受吸入过量的酸性气体对身体造成的伤害。为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案多晶硅原料酸洗槽，包括槽架， 设置于槽架下部的下挡板，设置于槽架中部的中挡板，中挡板内设置有酸洗池和水洗池，风 道上部为气罩，气罩上连接有风管，风管连接抽风机，其特征在于风道的结构是弧形挡板 与槽架内侧面形成风道，弧形挡板下端部前设有与之配合的导气板，导气板下部与酸洗池 平台及水洗池平台相接，弧形挡板下部留有空隙，从而使风道下部形成“U”形。本实用新型还可通过以下方案进一步实现槽架的底面可以是平面或凹面。槽架下后部设有排水口。槽架的上部弧形挡板的前面设有上挡板。酸洗池上沿所处的酸洗池平台高于水洗池上沿所处的水洗池平台。本实用新型具有以下有益效果风道设计巧妙，抽风机抽风效果好，酸性气体不会 上行，从而避免操作者吸入。它可有效地保障操作者在多晶硅原料的酸洗过程中，免受吸入 过量的酸性气体对身体造成的伤害。
图1为本实用新型主视结构示意图，图2为本实用新型A-A向剖视结构示意图。图中1为下挡板，2为水洗池，3为酸洗池，4为中挡板，5为酸洗池平台，6为操作 空间，7为上挡板，8为气罩，9为风管，10为导气板，11为水洗池排水口，12为弧形挡板，13 为槽架，14为水洗池平台，15为酸洗池排液口，16为风道，17为排水口。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的 说明。如图1、图2所示，槽架13的底面可以是平面或凹面，底面前部为下挡板1，下挡板 1可挡住水洗的水的流出；槽架13下后部设有排水口 17，用于向外总排水；槽架13的中部 前面设有中挡板4，中挡板4可挡住酸洗或水洗过程中，水从酸洗池3和水洗池2上部的流 出；槽架13的上部前面(弧形挡板12的前面)设有上挡板7，上挡板7可进一步防止酸性 气体从上部向外的排放；上挡板7与中挡板4之间为操作空间6，操作空间6下方设有酸洗 池3和水洗池2，酸洗池3下部设有酸洗池排液口 15，水洗池2下部设有水洗池排水口 11， 酸洗池3上沿所处的酸洗池平台5高于水洗池2上沿所处的水洗池平台14 ；在操作空间6 内侧为弧形挡板12，弧形挡板12与槽架13内侧面形成风道16，弧形挡板12下端部前设有 与之配合的导气板10，导气板10下部与酸洗池平台5及水洗池平台14相接，弧形挡板12 下部留有空隙，从而使风道16下部形成“U”形；图2中箭头所示为在抽风机的作用下操作 空间6的气体流向，弧形挡板12的上部为气罩8，气罩8上连接有风管9，风管9连接抽风 机。作业时，打开抽风机，将原料放入酸洗池3中，加入硝酸等酸液停留一定的时间 (一般选择1-3分钟)，再放入水洗池2中水洗。在酸洗过程中，有一定的酸性气体排出，酸 性气体在抽风机的作用下，直接通过导气板10导入弧形挡板12内的风道，吸出。酸性气体 不会上行，从而避免操作者吸入。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限 于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变 化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权 利要求所界定的保护范围为准。
权利要求多晶硅原料酸洗槽，包括槽架、设置于槽架下部的下挡板、设置于槽架中部的中挡板，中挡板内设置有酸洗池和水洗池，风道上部为气罩，气罩上连接有风管，风管连接抽风机，其特征在于风道的结构是弧形挡板与槽架内侧面形成风道，弧形挡板下端部前设有与之配合的导气板，导气板下部与酸洗池平台及水洗池平台相接，弧形挡板下部留有空隙，从而使风道下部形成“U”形。
2.根据权利要求1所述的多晶硅原料酸洗槽，其特征在于槽架的底面为平面或凹面。
3.根据权利要求1所述的多晶硅原料酸洗槽，其特征在于槽架下后部设有排水口。
4.根据权利要求1所述的多晶硅原料酸洗槽，其特征在于槽架的上部弧形挡板的前 面设有上挡板。
5.根据权利要求1所述的多晶硅原料酸洗槽，其特征在于酸洗池上沿所处的酸洗池 平台高于水洗池上沿所处的水洗池平台。
专利摘要多晶硅原料酸洗槽，涉及多晶硅原料酸洗设备，包括槽架，设置于槽架下部的下挡板，设置于槽架中部的中挡板，中挡板内设置有酸洗池和水洗池，风道上部为气罩，气罩上连接有风管，风管连接抽风机，其特征在于风道的结构是弧形挡板与槽架内侧面形成风道，弧形挡板下端部前设有与之配合的导气板，导气板下部与酸洗池平台及水洗池平台相接，弧形挡板下部留有空隙，从而使风道下部形成“U”形。本实用新型的有益效果是风道设计巧妙，抽风机抽风效果好，酸性气体不会上行，从而避免操作者吸入。它可有效地保障操作者在多晶硅原料的酸洗过程中，免受吸入过量的酸性气体对身体造成的伤害。
文档编号B08B15/04GK201659132SQ201020171199
公开日2010年12月1日 申请日期2010年4月27日 优先权日2010年4月27日
发明者刘佰林, 朱优军, 霍立, 韩子强 申请人:安阳市凤凰光伏科技有限公司