多晶硅生产用石英坩埚喷涂台的制作方法

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多晶硅生产用石英坩埚喷涂台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于石英坩祸制造技术领域,具体涉及一种多晶硅生产用石英坩祸喷涂台。
【背景技术】
[0002]多晶硅晶体是在多晶铸锭炉中进行烧制后形成的,具体是将多晶硅原料装在内表面涂有氮化硅粉脱模剂的石英坩祸内,然后将石英坩祸置于多晶硅锭炉内,通过加热、熔化、长晶、退火和冷却等一系列过程得到符合要求的多晶硅锭。石英坩祸在喷涂氮化硅涂料时需要在喷涂台上操作,并且喷涂时周围会产生大量粉尘,当前喷涂工人在工作时多通过穿戴工作服和口罩来避免皮肤与粉尘接触,防护效果较差。
【实用新型内容】
[0003]对此,本实用新型所要解决的技术问题是现有技术中石英坩祸喷涂车间内工作环境差的问题,从而提供一种能有效改善工作环境的石英坩祸喷涂台。
[0004]实现本实用新型目的的技术方案是:
[0005]—种多晶硅生产用石英坩祸喷涂台,包括设于可旋转底座上的喷涂平台,以及拌料装置,它还包括吸尘装置,所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机,所述吸尘通道的内端口为喇叭口,位于所述喷涂平台的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径。
[0006]上述技术方案中,所述拌料装置包括固定杆、可移动设置在所述固定杆上的活动块、用于将所述活动块锁紧的第一锁紧装置、可移动设置在所述活动块上的安装杆、用于将所述安装杆与所述活动块锁紧的第二锁紧装置和固定在所述安装杆上的搅拌机构。
[0007]上述技术方案中,所述吸尘通道的出风口处设有过滤网,所述过滤网的下方设有粉尘收集装置。
[0008]上述技术方案中,所述吸尘通道的出风口处设有插槽,所述粉尘收集装置边缘处设有适于与所述插槽插接配合的插片。
[0009]本实用新型具有积极的效果:
[0010](1)本实用新型中通过设置吸尘装置,并将吸尘通道的内端口设计成喇叭口状,位于所述喷涂平台的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康。
[0011](2)本实用新型中,搅拌机构能够向各个方向移动,从而便于操作人员现场操作。
[0012](3)本实用新型中,通过设置过滤网及粉尘收集装置,能够防止粉尘流出造成粉尘污染,进一步在所述吸尘通道的出风口处设置插槽,所述粉尘收集装置边缘处设置适于与所述插槽插接配合的插片,在安装粉尘收集装置时只需将其上插片与所述吸尘通道出风口处的插槽插接即可,拆卸时同样非常便捷。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型多晶硅生产用石英坩祸喷涂台的结构示意图。
[0014]图2为本实用新型多晶硅生产用石英坩祸喷涂台中拌料装置的结构示意;
[0015]图3为本实用新型多晶硅生产用石英坩祸喷涂台照明灯具安装时的局部视图。
[0016]图中所示附图标记为:1、喷涂平台,2、吸尘装置,3、喇叭口,4、吸尘通道,5、风机,
6、粉尘收集装置,7、照明灯具,8、安装片,9、固定孔,10、固定凸台,11、压紧弹片,12、固定杆,13、活动块,14、第一锁紧装置,15、安装杆,16、第二锁紧装置,17、搅拌机构,18、过滤网,19、圆弧形压接部,20、插槽,21、安装架。
【具体实施方式】
[0017]下面结合说明书附图对本实用新型中石英坩祸喷涂台的具体结构做以说明:
[0018]实施例1
[0019]—种多晶硅生产用石英坩祸喷涂台,如图1所示,包括设于可旋转底座上的喷涂平台1,以及拌料装置,除此之外,它还包括吸尘装置2,所述吸尘装置2包括吸尘通道4和设于所述吸尘通道4上的风机5,所述吸尘通道4的内端口为喇叭口,位于所述喷涂平台1的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台1的外径。本实施例中通过设置吸尘装置,并将吸尘通道4的内端口设计成喇叭口状,位于所述喷涂平台1的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台1的外径,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康。
[0020]进一步,参看图2,本实施例中的所述拌料装置包括固定杆12、可移动设置在所述固定杆12上的活动块13、用于将所述活动块13锁紧的第一锁紧装置14、可移动设置在所述活动块13上的安装杆15、用于将所述安装杆15与所述活动块13锁紧的第二锁紧装置16和固定在所述安装杆15上的搅拌机构17;所述第一锁紧装置14和第二锁紧装置16可以是螺栓或与之相似的部件,通过采用上述结构,在实践操作时,可通过调节实现搅拌机构17各个方向的调节,从而方便工作人员现场操作。
[0021]再进一步,所述喇叭口3边缘固定有照明灯具7,设置照明灯具7可使操作人员更容易看清喷涂效果,将照明灯具7设置在喇叭口 3边缘上,就无需另外设置灯架安装照明灯具,从而能够降低造价。
[0022]在上述结构基础上,所述照明灯具7背部设有安装架21,所述安装架上设有适于与所述喇叭口 3外壁相贴合的安装片8,所述安装片8上设有适于固定安装的固定孔9,所述喇叭口 3的外壁上设有适于与所述固定孔9卡接的固定凸台10及适于在所述固定孔9与所述固定凸台10形成配合时压紧所述安装架的压紧弹片11,其结构具体参看图3,采用上述结构安装照明灯具7,通过固定凸台10与固定孔9配合并通过压紧弹片11压紧安装片8,安装操作便捷且牢靠,具有很好的使用效果。
[0023]为了进一步方便安装,本实施例上设置所述压紧弹片11上压接所述安装片的压接部为圆弧形压接部19。
[0024]实施例2
[0025]本实施例与实施例1中的结构基本相同,不同之处在于,在所述吸尘通道4的出风口处设有过滤网18,所述过滤网18的下方设有粉尘收集装置6,通过设置过滤网18及粉尘收集装置6,能够防止粉尘流出造成粉尘污染。
[0026]为了便于粉尘收集装置拆装,本实施例中在所述吸尘通道4的出风口处设有插槽20,所述粉尘收集装置6边缘处设有适于与所述插槽20插接配合的插片,在安装粉尘收集装置6时只需将其上插片与所述吸尘通道4出风口处的插槽20插接即可,拆卸时同样非常便捷。
[0027]显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本实用新型的实质精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种多晶硅生产用石英坩祸喷涂台,包括设于可旋转底座上的喷涂平台(1),以及拌料装置,其特征在于,还包括吸尘装置(2),所述吸尘装置(2)包括吸尘通道(4)和设于所述吸尘通道(4)上的风机(5),所述吸尘通道(4)的内端口为喇叭口(3),位于所述喷涂平台(1)的正上方,且所述喇叭口(3)的口径大于所述喷涂平台(1)的外径。2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用石英坩祸喷涂台,其特征在于,所述拌料装置包括固定杆(12)、可移动设置在所述固定杆(12)上的活动块(13)、用于将所述活动块(13)锁紧的第一锁紧装置(14)、可移动设置在所述活动块(13)上的安装杆(15)、用于将所述安装杆(15)与所述活动块(13)锁紧的第二锁紧装置(16)和固定在所述安装杆(15)上的搅拌机构(17)。3.根据权利要求1所述的多晶硅生产用石英坩祸喷涂台,其特征在于,所述吸尘通道(4)的出风口处设有过滤网(18),所述过滤网(18)的下方设有粉尘收集装置(6)。4.根据权利要求3所述的多晶硅生产用石英坩祸喷涂台,其特征在于,所述吸尘通道(4)的出风口处设有插槽(20),所述粉尘收集装置(6)边缘处设有适于与所述插槽(20)插接配合的插片。
【专利摘要】本实用新型公开了一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,其包括设于可旋转底座上的喷涂平台,以及拌料装置和吸尘装置,所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机,所述吸尘通道的内端口为喇叭口,位于所述喷涂平台的正上方,且喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径。本实用新型中石英坩埚喷涂台的结构合理,通过设置吸尘装置,并将吸尘通道的内端口设计成喇叭口状,位于所述喷涂平台的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康。
【IPC分类】B05B15/00, B05B13/02
【公开号】CN205128267
【申请号】CN201520951066
【发明人】王勇
【申请人】浙江恒都光电科技有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年11月25日
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