颗粒状多晶硅生产流化床的制作方法
【技术领域】
[〇〇〇1]本实用新型属于流化床技术领域，特指一种颗粒状多晶硅生产流化床。
【背景技术】
[0002]将大量固体颗粒悬浮于运动的流体之中，从而使颗粒具有流体的某些表观特征，这种流固接触状态称为固体流态化，即流化床。
[0003]在颗粒状多晶硅生产过程中，需要对硅晶种进行流化；现有技术中的流化床为通用型，其存在导热性差、产品纯度低、使用寿命较短等缺点。而且，现有流化床配备的加热器也存在加热控制效果差、能耗高、温度稳定性差等缺点，从而影响多晶硅的生产质量。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、使用寿命长、产品纯度高、加热效果好、稳定可控的颗粒状多晶硅生产流化床。
[0005]本实用新型的目的是这样实现的：
[0006]颗粒状多晶硅生产流化床，包括筒体状的流化床本体，流化床本体下端设置有进料口和进风口，流化床本体下部的内侧设置有衬里，流化床本体下部的外侧设置有加热装置。
[0007]所述加热装置由多段相互独立的导热骨架组成，导热骨架相互间隔包覆于流化床本体的下部；每段所述的导热骨架外围分布加热器和热电偶，加热器与热电偶通过保温层隔离，相邻的两个导热骨架之间也设置有热电偶，每个热电偶分别连接对应的控制器并通过控制系统对加热器进行统一控制。
[0008]每个加热器均配备有对应的热电偶。
[0009]所述的加热器为电阻加热器；所述的电阻加热器为碳化硅、硅碳棒、石墨、碳纤维中的一种或其中至少二种以上混合制作成型。
[0010]所述的导热骨架为石墨、碳纤维、碳化硅、硅中的一种或其中至少二种混合制作成型。
[0011]所述的流化床衬里为石英衬里，避免流化床内壁的金属杂质与产品接触，保证生产的多晶硅纯度达到电子级。
[0012]所述进风口主要通入流化气体和风选气体，流化气体保证了床内反应的正常进行，当反应结后通入适当速度的风选气体对反应中生产的适合尺寸的多晶硅颗粒产品进行筛选。
[0013]本实用新型相比现有技术突出且有益的技术效果是：
[0014]本实用新型在流化床本体下部的内侧设置有石英衬里，衬里的设计使得流化床的耐腐蚀性增强并且提高了产品的纯度；本实用新型的加热装置采用分体加热方式，能够使整个流化床内快速、均匀升温，能够更精确的控制床内温度，通过调节各加热器的功率和数量能够使系统快速达到设定温度并保持这一温度，系统温度波动小、稳定性好，更加有利于反应的进行，能够对床内局部的温度进行升高或降低的控制，温度控制方式更灵活，能耗更低；进风口通入风选气体能够快速对反应生产的适合尺寸的多晶硅颗粒产品进行筛选。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型的结构简图。
[0016]图2是本实用新型的加热装置的结构简图。
[0017]图3是图2的A-A剖视图。
[0018]图中：1_流化床本体；2-加热装置；3-进料□ ;4_石英衬里；5-导热骨架；6-导热骨架；7-导热骨架；8-导热骨架；
[0019]21-加热器；22-保温层；23-热电偶；24-热电偶。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图以具体实施例对本实用新型作进一步描述：
[0021]颗粒状多晶硅生产流化床，包括筒体状的流化床本体1，流化床本体1下端设置有进料口 3,流化床本体1下部的内侧设置有石英衬里4,流化床本体下部的外侧设置有加热装置2,石英衬里的设计使得流化床的耐腐蚀性增强且保证产品的纯度。
[0022]所述加热装置2由多段相互独立的导热骨架5,6, 7,8组成，导热骨架相互间隔包覆于流化床本体1的下部；每段所述的导热骨架1外围分布加热器21和热电偶23,加热器21与热电偶23通过保温层隔离，相邻的两个导热骨架之间也设置有热电偶24,每个热电偶23, 24分别连接对应的控制器并通过显示屏将数据集中统一管理，加热装置采用分体加热方式，能够使整个流化床内快速、均匀升温，能够更精确的控制床内温度。
[0023]每个加热器21均配备有对应的热电偶。
[0024]所述的加热器21为电阻加热器；所述的电阻加热器为碳化硅、硅碳棒、石墨、碳纤维中的一种或其中至少二种以上混合制作成型。
[0025]所述的导热骨架5,6,7,8为石墨、碳纤维、碳化娃、娃中的一种或其中至少二种混合制作成型。
[0026]上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.颗粒状多晶娃生产流化床，其特征在于，包括筒体状的流化床本体，流化床本体下端设置有进料口，流化床本体下部的内侧设置有衬里，流化床本体下部的外侧设置有加热装置。2.根据权利要求1所述的颗粒状多晶硅生产流化床，其特征在于，所述衬里为石英衬里。3.根据权利要求1所述的颗粒状多晶硅生产流化床，其特征在于，所述加热装置由多段相互独立的导热骨架组成，导热骨架相互间隔包覆于流化床本体的下部；每段所述的导热骨架外围分布加热器和热电偶，加热器与热电偶通过保温层隔离，相邻的两个导热骨架之间也设置有热电偶，每个热电偶分别连接对应的控制器并通过控制系统对加热器进行统一控制。4.根据权利要求3所述的颗粒状多晶硅生产流化床，其特征在于，每个加热器均配备有对应的热电偶。
【专利摘要】本实用新型属于流化床技术领域，特指一种颗粒状多晶硅生产流化床，颗粒状多晶硅生产流化床，包括筒体状的流化床本体，流化床本体下端设置有进料口，流化床本体下部的内侧设置有石英衬里，流化床本体下部的外侧设置有加热装置。本实用新型在流化床本体下部的内侧设置有石英衬里，石英衬里的设计使得流化床的耐腐蚀性增强且保证了产品纯度，使用寿命增加；本实用新型的加热装置采用分体加热方式，能够使整个流化床内快速、均匀升温，能够更精确的控制床内温度。
【IPC分类】C01B33/021
【公开号】CN205099368
【申请号】CN201520678021
【发明人】陶刚义
【申请人】内蒙古兴洋新材料科技有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年9月1日