一种多晶硅设备的化学络合清洗方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于多晶娃清洗技术领域，设及一种多晶娃设备的化学络合清洗方。
【背景技术】
[0002] 作为生产太阳能发电板和电子元件的基础材料多晶娃产品，近年来可谓大起大 落。经过多年的发展，多晶娃产品和组件市场逐渐平稳回升。多晶娃生产过程中对设备的 洁净度要求极其严格，尤其是油分子和重金属离子，太阳能级的多晶娃纯度要求9个9%， 电子级更是达到11个9%，在庞大的设备系统中，哪怕几个PPM的油分子都会造成无法出产 品的严重后果。因此，多晶娃设备的开车前清洗技术多年W来，代表着工业清洗行业的最高 水平。
[0003]多晶娃设备投产前的清洗，不仅仅是代表清洗技术的高低，关键是对清洗企业的 综合实力体现，不仅对清洗技术的苛刻要求，重要的是对清洗现场的管理能力。清洗工艺流 程，清洗剂，清洗后的保护，再到安装公司对储罐和设备的安装，都对最后多晶娃产品有着 很大的影响。多晶娃设备中的储罐清洗，有着非常高的洁净度要求，比如清洗脱脂后，用去 离子的纯水进行冲洗储罐表面其他离子，然后需要对储罐用无油，无水，无尘的Ξ无压缩空 气进行干燥处理，最后成品保护处理。
【发明内容】
[0004]本发明解决的技术问题在于提供一种多晶娃设备的化学络合清洗方法，能够实现 大规模作业，满足多晶娃设备清洗的高要求，有利于缩短多晶娃设备清洗的时间，缩短了电 子级多晶娃的产出时间。
[0005]本发明是通过W下技术方案来实现：
[0006]-种多晶娃设备的化学络合清洗方法，包括W下操作：
[0007] 1)对待清洗的多晶娃设备进行去除表面附着物或杂质的预处理，然后向多晶娃 设备中注入水进行试漏检测；
[0008] 2)待多晶娃设备无漏水后，采用高效脱脂剂对设备表面进行脱脂处理，所述的脱 脂清洗剂为非离子表面活性剂；脱脂处理结束后排出脱脂清洗剂；脱脂处理后的设备立即 进行水冲洗，冲洗至流出水的抑值中性为准；
[0009] 3)水冲洗结束后，采用络合除诱剂W浸泡清洗、循环清洗或喷淋清洗的方式对设 备进行络合除诱清洗，所述的络合除诱为络合除诱剂溶解于35°C~45°C的水中，抑值为 1~4;络合除诱清洗过程中在供给络合除诱剂的清洗循环槽中设置标准同材质标准试片 进行监测，至流出液铁离子总量稳定时结束清洗；络合除诱清洗结束后排出络合除诱剂，用 水冲洗至水清；
[0010] 4)水冲洗结束后，采用漂洗剂W循环清洗或喷淋清洗的方式对设备进行漂洗，所 述的漂洗剂为弱酸溶液，其抑值为3. 5~4. 0,溫度为45~60°C，漂洗1~化；
[0011] 5)漂洗结束后排出漂洗剂，然后用溫度为30~35°C、抑值为8~9的氨水进行 氨塞处理，时间为0.2~1.化；
[0012] 6)氨塞处理结束立即投加纯化剂对设备表面进行纯化处理，纯化结束后排出纯化 剂，用水冲洗至水清；
[0013] 7)将设备用无油无尘的洁净空气强力吹干，封闭并充氮保护。
[0014] 所述的预处理为拉擦或喷砂处理，清除至表面无明显附着物、杂物及诱迹；
[0015] 在之后的每道工序清洗前进行正、反循环十分钟，排净空气，然后进行清洗作业。
[0016] 所述的非离子表面活性剂是脂肪醇聚氧乙締酸与与馨合剂、分散剂的混合物的溶 液，其中脂肪醇聚氧乙締酸所占的质量分数为0. 3~0. 6%，所述的分散剂为脂肪酸类的分 散剂，所述的馨合剂为有机麟，脂肪醇聚氧乙締酸与馨合剂、分散剂的质量比为（2~8): (0.5~1) :(0.5~1);非离子表面活性剂于35~45°C、抑值9~11的条件下进行脱脂。
[0017] 所述的络合除诱剂包括邸TA钢盐、有机酸并添加保护剂，其中邸TA钢盐所占的质 量分数为60~80%，EDTA钢盐：有机酸：保护剂的质量比为（8~10) : (2~4) :(0.2~1); 所述的有机酸为巧樣酸或氨基横酸，所述的保护剂为有机胺盐化合物；络合除诱剂添加的 质量分数为1~5%。
[0018] 所述的漂洗剂为巧樣酸溶液，用氨水调抑值为3. 5~4。
[0019] 氨塞处理结束后用纯化剂对设备表面进行纯化处理，所述的纯化剂采用金属表面 纯化剂，在溫度为60~70°C、抑值为10~11的条件下纯化，纯化处理时间为8~16h;或 者纯化剂采用表面成膜剂，在常溫下、抑值为9~11的条件下纯化；
[0020] 或者，漂洗处理结束后再加氨水使抑值为9. 5~9. 8,然后W氧化剂作为纯化剂进 行纯化，在溫度38~42°C下处理6~化，所述的氧化剂为过氧化物或高儘酸钟。
[0021] 所述的多晶娃设备为管材、阀口时，所述的预处理清除至表面无诱迹；所述的脱 脂处理分为粗脱脂处理和精脱脂处理来进行，其中粗脱脂处理采用有机溶剂进行处理，精 脱脂处理采用非离子表面活性剂进行处理；所述的络合除诱清洗时，碳钢腐蚀率K《5g/ nf'h，腐蚀总量< 60g/nf;所述的漂洗时要求冲洗后铁离子含量为300mg/l，不诱钢《2g/ ·h，腐蚀总量< 20g/nf。
[0022] 所述的多晶娃设备为换热器、塔类或罐类时，所述的预处理清除至表面无诱迹、杂 物及重油；所述的脱脂处理分为粗脱脂处理和精脱脂处理来进行，其中粗脱脂处理采用有 机溶剂进行处理，精脱脂处理采用非离子表面活性剂进行处理；所述的络合除诱清洗时，每 小时检测一次铁离子和抑值，控制腐蚀速率；所述的漂洗结束后检测溫度、抑值和总化 量。
[0023] 所述的多晶娃设备为塔类或罐类时，还在设备内设置喷淋装置；所述的络合除诱 剂、漂洗剂、纯化液等通过喷淋装置喷淋至设备表面。
[0024] 所述的清洗液通过清洗换向平台实行正反交替循环清洗方式，避免清洗死角漏 洗。
[00巧]与现有技术相比，本发明具有W下有益的技术效果：
[0026] 本发明提供的多晶娃设备的化学络合清洗方法，络合化学清洗及设备清洗工艺是 对传统"酸碱清洗"的一项绿色新技术革命；其采用的无毒无味，不挥发，排放无污染环境的 络合除诱剂进行清洗，所排除的废液均为环保、无害化废液，完全解决了多晶娃清洗中的各 种难题，避免了酸洗对设备材质的腐蚀损伤，废液完全达到环保要求，而清洗后的清洗液可 反复使用。
[0027] 本发明提供的多晶娃设备的化学络合清洗方法，采用了多种的清洗工序的结合， 首先排除化学清洗难去除的附作物杂物，再经过络合除诱清洗、漂洗、氨塞、纯化、吹干、充 氮保护的工艺，而且各工艺之间用水清洗，在不伤害设备的情况下能够达到高洁净度的清 洗，而且清洗过后设备持续运行时间长。
[0028] 本发明提供的多晶娃设备的化学络合清洗方法，能够采用循环清洗、喷淋清洗、 浸泡清洗多种方式，便于搭建清洗平台，清洗液可采用循环管路输送，而溫度及抑的检测 都可W从测试管路中获取，方便了操作而且便于精细化的调节，采用正、反循环方式进行清 洗，可W将清洗不到的死角彻底清洗干净并能够实现流量的准确调控可W适应不同的清洗 要求。
[0029] 本发明提供的多晶娃设备的化学络合清洗方法，能够采用浸泡式循环流水线作 业，使多晶娃设备的管道清洗产能提高3~5倍，能大大缩短多晶娃设备清洗的时间。
【具体实施方式】
[0030] 下面对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定。
[0031] 一种多晶娃设备的化学络合清洗方法，包括W下操作：
[0032] 1)对待清洗的多晶娃设备进行去除表面附着物或杂质的预处理，然后向多晶娃 设备中注入水进行试漏检测；
[0033] 2)待多晶娃设备无漏水后，采用脱脂清洗剂对设备表面进行脱脂处理，所述的脱 脂清洗剂为非离子表面活性剂；脱脂处理结束后排出脱脂清洗剂；脱脂处理后的设备立即 进行水冲洗，冲洗至流出水的抑值中性为准；
[0034] 3)水冲洗结束后，采用络合除诱剂W浸泡清洗、循环清洗或喷淋清洗的方式对设 备进行络合除诱清洗，所述的络合除诱为络合除诱剂和络合除垢剂溶解于35°C~45°C的 水中，抑值为1~4;络合除诱清洗过程中在供给络合除诱剂的管路中设置标准同材质标准 试片进行