硅烷尾气取样装置的制作方法

本实用新型涉及一种取样装置，特别是涉及一种硅烷尾气取样装置。

背景技术：
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最近几年由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩产，使多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段，硅烷法生产多晶硅因其分解温度低、能耗低、成本低、无污染等特点，已经引起了越来越多的多晶硅生产企业的关注并已被成功应用，不论是国外大的多晶硅生产厂家的成熟的发展案例还是目前国内硅烷法生产多晶硅的逐步发展的趋势，这些都表明硅烷法是未来多晶硅产业技术提升与发展的主要方向。

硅烷气体无论是在流化床反应器中发生分解反应，在预先装入的细硅粒表面生长多晶硅颗粒，还是在CVD炉中发生热分解反应，在硅芯表面分解沉积最终生长成多晶硅棒，硅烷实际转化效率都要受到反应温度和压力等参数控制的影响。硅烷尾气中硅烷含量的大小，直接反映了硅烷在流化床和CVD炉内的转化效率，是工艺调整的重要依据，因此，测量硅烷尾气中硅烷含量具有重要意义。但硅烷气体具有遇空气燃烧、分解的特性，取样过程中，硅烷尾气中硅烷遇空气燃烧，从而引燃硅烷尾气中氢气，易于发生安全事故，目前，还没有专用于硅烷尾气的取样装置。

技术实现要素：
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为避免取样过程中，硅烷尾气中硅烷遇空气燃烧，引发安全事故，本实用新型的目的在于提供一种安全可靠的硅烷尾气取样装置。

本实用新型的目的由如下技术方案实施：1、硅烷尾气取样装置，其特征在于，其包括尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)；尾气取样管道(1)的出口与硅烷尾气出口针型阀(2)的进口连接，硅烷尾气出口针型阀(2)的出口分别与氢气管道针型阀(3)的出口、样品钢瓶进气阀(4)的进口和旁路针型阀(6)的进口通过管道连接，氢气管道针型阀(3)的进口与氢气管道(7)的出口通过管道连接，样品钢瓶进气阀(4)的出口与样品钢瓶(8)的进口通过管道连接，样品钢瓶(8)的出口与样品钢瓶排气阀(5)的进口连接，样品钢瓶排气阀(5)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接，旁路针型阀(6)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接。

进一步，样品钢瓶进气阀(4)的进口与连接硅烷尾气出口针型阀(2)和样品钢瓶进气阀(4)管道的出口通过螺纹连接。

进一步，样品钢瓶排气阀(5)的出口与连接样品钢瓶排气阀(5)和碱液吸收桶(9)管道的进口通过螺纹连接。

本实用新型的优点：硅烷尾气取样装置充分考虑硅烷尾气特点，针对硅烷气体遇空气燃烧、分解的性质，在装置设计时增加一路氢气作为吹扫气体，用于取样前后取样管路置换，避免了尾气中硅烷遇空气燃烧，保证安全取样；本实用新型结构简单、操作方便、制造成本低。

附图说明：

图1为硅烷尾气取样装置示意图。

尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)。

具体实施方式：

如图1所示，1、硅烷尾气取样装置，其特征在于，其包括尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)；尾气取样管道(1)的出口与硅烷尾气出口针型阀(2)的进口连接，硅烷尾气出口针型阀(2)的出口分别与氢气管道针型阀(3)的出口、样品钢瓶进气阀(4)的进口和旁路针型阀(6)的进口通过管道连接，氢气管道针型阀(3)的进口与氢气管道(7)的出口通过管道连接，样品钢瓶进气阀(4)的出口与样品钢瓶(8)的进口通过管道连接，样品钢瓶(8)的出口与样品钢瓶排气阀(5)的进口连接，样品钢瓶排气阀(5)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接，旁路针型阀(6)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接。样品钢瓶进气阀(4)的进口与连接硅烷尾气出口针型阀(2)和样品钢瓶进气阀(4)管道的出口通过螺纹连接。样品钢瓶排气阀(5)的出口与连接样品钢瓶排气阀(5)和碱液吸收桶(9)管道的进口通过螺纹连接。

利用硅烷尾气取样装置，取样具体操作步骤为：

①关闭硅烷尾气出口针型阀(2)，打开样品钢瓶进气阀(4)和样品钢瓶排气阀(5)，打开旁路针型阀(6)，打开氢气管道针型阀(3)，用氢气充分置换样品钢瓶(8)及取样管路内的空气并试漏；

②氢气置换完毕后，关闭旁路针型阀(6)，关闭氢气管道针型阀(3)，打开硅烷尾气出口针型阀(2)，用硅烷尾气充分置换样品钢瓶(8)及取样管路内的氢气，多余的硅烷尾气经碱液吸收桶(9)反应后排空；

③硅烷尾气置换完毕后，关闭样品钢瓶排气阀(5)，取样平衡5min～10min，关闭样品钢瓶进气阀(4)，关闭硅烷尾气出口针型阀(2)；

④打开氢气管道针型阀(3)，打开旁路针型阀(6)，用氢气充分置换取样管路内的硅烷尾气；旁路针型阀(6)用于取样后的管路吹扫。

⑤关闭氢气管道针型阀(3)，卸下样品钢瓶(8)，完成取样。