技术编号：1402249
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洁装置，特别涉及一种针对快速热处理机台反射面板的清洁装置。背景技术快速热处理机台的探测头和反射面板用于探测腔室内晶圆表面的温度，采用光感原理对晶圆表面进行探测。快速热处理机台进行性能维护的时候，涉及对探针头和反射面板的清洗，通常使用含50%异丙醇的清洁布对反射面板的表面顺时针进行擦拭。探测头的位置处于反射面板的中间，由七个探测头组成分别检测晶圆的七个方位点，由于探测头表面是镶嵌在反射面板的表面，在擦拭反射面板表面的同时需要对探测头进行特...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。