专利名称：一种快速热处理机台反射面板的清洁装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种清洁装置，特别涉及一种针对快速热处理机台反射面板的清
洁装置。
背景技术：
快速热处理机台的探测头和反射面板用于探测腔室内晶圆表面的温度，采用光感原理对晶圆表面进行探测。快速热处理机台进行性能维护的时候，涉及对探针头和反射面板的清洗，通常使用含50%异丙醇的清洁布对反射面板的表面顺时针进行擦拭。探测头的位置处于反射面板的中间，由七个探测头组成分别检测晶圆的七个方位点，由于探测头表面是镶嵌在反射面板的表面，在擦拭反射面板表面的同时需要对探测头进行特别的擦拭， 因为探测头的洁净与否关系到监测温度的准确性。在进行清洗的过程，使用力度需要适中，过重容易造成反射面板划伤，过轻容易使反射面板表面清洁度不够。探测头的擦拭和反射面板是一样的，在擦拭反射面板的同时也对探测头进行清洗。但是探测头表面是水晶制成，容易存留污迹，所以在清洗过程中需要着重对待。另外，如果擦拭不均勻，容易使反射面板的表面造成污染，影响下次的温度测试结
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实用新型内容本实用新型是为解决反射面板表面以及探测头采用清洁布手动清洗引起力度把握不准和擦拭不均勻的缺陷，其目的在于提出一种快速热处理机台反射面板的清洁装置， 反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，该清洁装置包括外盘与内盘，该外盘与固定环匹配，该外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；内盘与反射面板匹配，内盘的表面包裹清洁布，内盘与外盘活动连接，内盘与外盘之间设有第二定位销。优选地，该清洁布设有孔洞，清洁头穿过孔洞安置在该孔洞处，该清洁头的位置与反射面板上分布的探测头的位置对应。优选地，该清洁头的大小规格比探测头大。优选地，清洁布和清洁头的材料采用高分子吸水材料。优选地，内盘内部的底盘上固定电机，该电机的转轴上安装有第一齿轮，该内盘内部还包括齿轮组，该齿轮组的输入端与第一齿轮衔接。优选地，该齿轮组中的各个齿轮相互衔接，并且该齿轮组的输出端固定连接杆的一端，该连接杆的另一端安装清洁头。优选地，第一定位销分布于外盘下端边缘。 优选地，该内盘与外盘通过轨道和滚珠活动连接。优选地，远离反射面板的内盘表面安装有手柄，该手柄靠近内盘的边缘。根据该快速热处理机台反射面板的清洁装置，旋转手柄带动内盘转动使安装在内盘表面的清洁布对反射面板的表面进行顺时针擦拭，力度把握均勻。
3[0014]进一步地，该清洁装置的清洁布还安置清洁头，该清洁头的位置与反射面板上分布的探测头对应。发动电机带动齿轮使清洁头旋转起来，充分擦拭探测头的表面。
参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式
以后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，图Ia为快速热处理机台反射面板的清洁装置俯视结构示意图；图Ib为快速热处理机台反射面板的清洁装置内部结构示意图；图Ic为快速热处理机台反射面板的清洁装置仰视结构示意图；图加为使用快速热处理机台反射面板的清洁装置进行性能维护前后的检测时间对比表格；以及图2b为使用快速热处理机台反射面板的清洁装置进行性能维护前后的检测成功率对比表格。
具体实施方式
下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。本实用新型提供的快速热处理机台反射面板的清洁装置，该装置可以分别对反射面板和探测头进行清洁工作。既可以旋转手柄对反射面板的表面进行顺时针擦拭，同时可以由电机带动齿轮旋转清洁头，使清洁头充分擦拭探测头的表面。解决了反射面板表面以及探测头采用洁净布手动清洗引起力度把握不准和擦拭不均勻的缺陷。该快速热处理机台反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，图Ia为快速热处理机台反射面板的清洁装置俯视结构示意图；图Ib为快速热处理机台反射面板的清洁装置内部结构示意图；图Ic为快速热处理机台反射面板的清洁装置仰视结构示意图。参照图la，图Ib以及图lc，该快速热处理机台反射面板的清洁装置100包括外盘101与内盘 102，该外盘101与固定环匹配，该外盘101通过外盘101上的第一定位销107固定在固定环上；内盘102与反射面板匹配，内盘102的表面包裹清洁布，内盘102与外盘101活动连接，内盘102与外盘101之间设有第二定位销108。第一定位销107分布于外盘101下端边缘。在本实施例中，该内盘101与外盘102通过轨道110和滚珠111活动连接。远离反射面板的内盘101表面安装有手柄103，该手柄103靠近内盘101的边缘。清洁布设有孔洞，清洁头109穿过孔洞安置在该孔洞处，该清洁头109的位置与反射面板上分布的探测头的位置对应，并且清洁头109的大小规格比探测头大，便于对探测头的清洁。清洁布和清洁头109的材料采用高分子吸水材料。清洁布与清洁头109随时可以更换，省时省力。在本实施例中，高分子吸水材料为棉质材料。内盘102内部的底盘上固定电机104，该电机104的转轴112上安装有第一齿轮 105，内盘102内部还包括齿轮组106，该齿轮组106的输入端与第一齿轮105衔接。齿轮组106中的各个齿轮互相衔接，并且该齿轮组106的输出端固定连接杆113的一端，，该连接杆113的另一端安装清洁头109。[0027]快速热处理机台反射面板的清洁装置100的第一定位销107可以将外盘101固定在腔室中，内盘102与反射面板接触，内盘102可以通过操作手柄103使内盘102沿轨道 110进行旋转，内盘102表面包裹的清洁布对整个反射面板进行擦拭。当需要对分布在反射面板的探测头进行局部专门擦拭时，可以通过内盘102和外盘101的第二定位削108，锁住两盘，启动电机104，齿轮组106其中的一个齿轮与该第一齿轮105衔接，该齿轮组106的各个齿轮间相互衔接，在电机104的启动下，第一齿轮105围绕转轴112转动，从而带动整个齿轮组106运作，使与齿轮组106的齿轮连接的连接杆109旋转，带动连接杆109上的清洁头109旋转对探测头进行擦拭。使用快速热处理机台反射面板的清洁装置100时，采用清洁布和清洁头109的同时需配合使用50%异丙醇。该快速热处理机台反射面板的清洁装置100既可以对反射面板的表面进行力度均勻的擦拭，又可以局部对分布在反射面板表面的探测头进行专门清洁。对反射面板的表面进行擦拭时，旋转手柄103带动内盘102转动使包裹在内盘102表面的清洁布对反射面板的整个表面进行擦拭，当需要对探测头进行专门擦拭时，电机104带动齿轮旋转连接杆 113，使连接杆113 —端安装的清洁头109充分擦拭探测头的表面，完成对探测头进行的特别擦拭。图加为使用快速热处理机台反射面板的清洁装置进行性能维护前后的检测时间对比表格。参照图加，分别对四台机台进行检测，使用该快速热处理机台反射面板的清洁装置100进行性能维护所需的时间更短，大大提高了工作效率。图2b为使用快速热处理机台反射面板的清洁装置进行性能维护前后的检测成功率对比表格。参照图2b，从2009年8月至2009年12月分别对四台机台进行检测，只有使用了本实用新型的清洁装置进行性能维护的机台成功率每月均达100%，而其它三台机台均没有每月都实现成功率100%。使用了本实用新型的清洁装置有利于性能维护。上文中，参照附图描述了本实用新型的具体实施方式
。但是，本领域中的普通技术人员能够理解，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以对本实用新型的具体实施方式
作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书所限定的范围内。
权利要求1.一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，所述反射面板由固定环固定在所述快速热处理机台上，所述清洁装置包括外盘与内盘，其特征在于，所述外盘与固定环匹配，所述外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；所述内盘与反射面板匹配，所述内盘的表面包裹清洁布，所述内盘与所述外盘活动连接，所述内盘与所述外盘之间设有第二定位销。
2.根据权利要求1所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述清洁布设有孔洞，清洁头穿过所述孔洞安置在所述孔洞处，所述清洁头的位置与所述反射面板上分布的探测头的位置对应。
3.根据权利要求2所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述清洁头的大小规格比所述探测头大。
4.根据权利要求2所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述清洁布和所述清洁头的材料采用高分子吸水材料。
5.根据权利要求1所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述内盘内部的底盘上固定电机，所述电机的转轴上安装有第一齿轮，所述内盘内部还包括齿轮组，所述齿轮组的输入端与所述第一齿轮衔接。
6.根据权利要求5所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述齿轮组中的各个齿轮相互衔接，并且所述齿轮组的输出端固定连接杆的一端，所述连接杆的另一端安装清洁头。
7.根据权利要求1所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述第一定位销分布于外盘下端边缘。
8.根据权利要求1所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，所述内盘与所述外盘通过轨道和滚珠活动连接。
9.根据权利要求1所述的快速热处理机台反射面板的清洁装置，其特征在于，远离反射面板的内盘表面安装有手柄，所述手柄靠近所述内盘的边缘。
专利摘要本实用新型提供了一种快速热处理机台反射面板的清洁装置，反射面板由固定环固定在快速热处理机台上，该清洁装置包括外盘与内盘，外盘与固定环匹配，外盘通过外盘上的第一定位销固定在固定环上；内盘与反射面板匹配，内盘的表面包裹清洁布，内盘与外盘活动连接，内盘与外盘之间设有第二定位销。该清洁装置可以分别对反射面板和分布在反射面板上的探测头进行清洁工作，清洁的力度均匀。
文档编号B08B1/04GK201997505SQ20102026601
公开日2011年10月5日 申请日期2010年7月21日 优先权日2010年7月21日
发明者许鹖 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司