技术编号:14088033
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及旋转靶用装置尤其涉及一种全拆卸式旋转靶用挡板。背景技术在现有的靶向装置中,采用固定式阴极或者旋转阴极作为镀膜发生装置,但是其控制靶向的位置以及靶向的方向、强度缺少控制,由于在靶向装置上采用的高压电源无法实现开关控制,导致在靶向装置中无法控制其靶向的方向、强度;在现有技术中常采用挡板进行控制,在现有的技术中,挡板常采用固定式挡板固定在真空腔室内,同时,没有办法对其靶向的方向、强度进行控制,如需调节和拆卸都需要停机。造成了在镀膜生产中无法实现工艺调节.实用新型内容本实用新型的目的是根据...
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