一种全拆卸式旋转靶用挡板的制作方法

本实用新型涉及旋转靶用装置尤其涉及一种全拆卸式旋转靶用挡板。

背景技术：

在现有的靶向装置中，采用固定式阴极或者旋转阴极作为镀膜发生装置，但是其控制靶向的位置以及靶向的方向、强度缺少控制，由于在靶向装置上采用的高压电源无法实现开关控制，导致在靶向装置中无法控制其靶向的方向、强度；在现有技术中常采用挡板进行控制，在现有的技术中，挡板常采用固定式挡板固定在真空腔室内，同时，没有办法对其靶向的方向、强度进行控制，如需调节和拆卸都需要停机。造成了在镀膜生产中无法实现工艺调节.

技术实现要素：

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种全拆卸式旋转靶用挡板，其特征在于，包括外挡板、内挡板、内挡板的驱动部件；所述的外挡板固定在真空腔室上；所述的内挡板设置在外挡板的内部；所述的内挡板的下方设置一内挡板的驱动部件；所述内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关。

进一步所述的内挡板的上端设置一转动定位件；转动定位件连接在真空腔室上；在内挡板的下端连接内挡板旋转底板；在内挡板旋转底板的中心位置设置一方形驱动轴；方形驱动轴连接一减速器；减速器的下方连接一连接轴；与下方的驱动气缸连接。

进一步所述的外挡板外径大于所述的内挡板的外径；所述的内挡板在所述的外挡板内部旋转。

进一步所述的内挡板旋转的角度0-180°可调。

进一步所述的驱动气缸为双向转动式，活塞长度可调节的气缸。

本实用新型的技术效果在于，利用内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关，实现了内挡板在0-180°的位置进行调整，从而达到了控制靶向装置的靶向的方向、强度，同时避免了在调节和拆卸都需要停机的状况。

附图说明

图1是本实用新型的内挡板关闭状态下的主视图。

图2是本实用新型的内挡板关闭状态下的左视图。

图3是本实用新型的内挡板开启状态下的主视图。

图4是本实用新型的内挡板开启状态下的左视图。

图5是本实用新型在拆掉内挡板和外挡板后的示意图。

图6是本实用新型在拆掉内挡板和外挡板后的内挡板底部的示意图

图7是本实用新型内挡板的示意图

图8是本实用新型外挡板的示意图

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合附图1-附图4所示，结合实施例，本实用新型提供了一种全拆卸式旋转靶用挡板，包括外挡板1、内挡板2、内挡板的驱动部件3；在实施例中将外挡板1固定在真空腔室4上；件内挡板2设置在外挡板1的内部；内挡板2的下方设置一内挡板的驱动部件3；内挡板的驱动部件3带动内挡板2呈正、反向开关。以上的结构可以保证在外挡板1固定的状态下，内挡板2在外挡板1的内部进行正、反向开关，有效地控制内挡板2的开关角度和频率，这样就解决了靶向装置中无法控制其靶向的方向、强度的技术问题。其靶向的方向、强度控制可以通过调节内挡板2的开关的角度来进行调节。

结合附图1、附图2、附图5、附图6所示，为了进一步实现内挡板2的转动，将内挡板2的上端设置一转动定位件5；转动定位件5连接在真空腔室4上；在内挡板2的下端连接内挡板旋转底板6；在内挡板旋转底板6的中心位置设置一方形驱动轴7；方形驱动轴7连接一减速器8；减速器8的下方连接一连接轴9；与下方的驱动气缸10连接。

为了实现内挡板2的转动，结合附图7、附图8所示，外挡板1外径大于内挡板2的外径；内挡板2在外挡板1内部旋转。内挡板2旋转的角度0-180°可调。结合附图1、附图2所示，驱动气缸为双向转动式，活塞长度可调节的气缸。以上的结构实现了内挡板2的转动以及开关角度的调节方式方法。

作为本实用新型的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，也是本实用新型的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。