技术编号:14088037
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及观察窗尤其涉及一种真空镀膜室用双层防护观察窗。背景技术在现有的真空镀膜室常需要设置观察窗来观察真空镀膜室内部的状况,在现有的观察窗的使用来看,由于在真空镀膜室中会出现镀膜的颗粒物附着在观察窗上,使得观察窗变得模糊不清,时间一长就需要更换观察窗,但是由于观察窗的价格较高,使得生产成本增加,而且经常性更换观察窗也会降低其余零部件的使用寿命,对设备本身是一种潜在危险。实用新型内容本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处,本实用新型目的实现一种真空镀膜室用双层防护观察窗,其特征在于,所...
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