一种真空镀膜室用双层防护观察窗的制作方法

本实用新型涉及观察窗尤其涉及一种真空镀膜室用双层防护观察窗。

背景技术：

在现有的真空镀膜室常需要设置观察窗来观察真空镀膜室内部的状况，在现有的观察窗的使用来看，由于在真空镀膜室中会出现镀膜的颗粒物附着在观察窗上，使得观察窗变得模糊不清，时间一长就需要更换观察窗，但是由于观察窗的价格较高，使得生产成本增加，而且经常性更换观察窗也会降低其余零部件的使用寿命，对设备本身是一种潜在危险。

技术实现要素：

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的真空镀膜室用双层防护观察窗包括第一法兰、外层观察窗、内层观察窗、第二法兰，挡板；所述的第一法兰与第二法兰之间依次设置外层观察窗、内层观察窗；在内层观察窗的右侧设置挡板；所述的挡板为转动挡板。

进一步所述的第一法兰的右侧开设第一凹槽；在第一凹槽内部设置第一密封件，在第一密封件的左侧设置所述的外层观察窗。

进一步，在所述的第二法兰上开设第二凹槽，在第二凹槽内设置第二密封件；第二密封件与外层观察窗贴合。

进一步，在所述的第二凹槽的下方设置一凸块；在凸块的左侧设置内层观察窗；在所述的凸块的右侧设置一支撑块；在支撑块的右侧设置挡板。

进一步，所述的挡板连接在一根转轴上；在转轴的上方设置的一围板；转轴并穿过设置在第二法兰上的转轴套与.磁耦合转动件相连接。

进一步所述的磁耦合转动件包括磁耦合器、转动件；转动件为气缸、伺服电机、步进电机中的任意一种。

进一步所述的外层观察窗的厚度大于内层观察窗厚度

本实用新型专利的技术效果在于，采用挡板挡住真空镀膜室出现镀膜的颗粒物，延长镀膜的颗粒物污染观察室的时间；同时，在厚的观察室的里面设置一层较薄的观察室；这样，实现只要更换较薄的观察室就可以了，减少成本支出。

附图说明

图1是本实用新型的立体示意图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是本实用新型的A-A向剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合附图1、附图2、附图3，进一步解释本实用新型的实施例，在实施例中公开了一种真空镀膜室用双层防护观察窗，在真空镀膜室用双层防护观察窗包括第一法兰2、外层观察窗7、内层观察窗8、第二法兰3，挡板6；第一法兰2与第二法兰3之间依次设置外层观察窗7、内层观察窗8；在内层观察窗8的右侧设置挡板6；挡板6为转动挡板；在本实用新型中采用了外层观察窗7、内层观察窗8的结构，利用挡板6挡住来自真空镀膜室出现镀膜的颗粒物；从而延长镀膜的颗粒物污染观察室的时间；同时采用外层观察窗7、内层观察窗8两层的设计结构；保证了外层观察窗7不被污染；从而减少了成本支出。

进一步所示，在附图3中，外层观察窗7的厚度大于内层观察窗8厚度，这样的设计保证了采用内层观察窗8较为廉价的材料制成，保证了在内层观察窗8被污染的情况下；外层观察窗7没有被污染。从而保证了价格昂贵的外层观察窗7的使用寿命。

为了进一步实现实施例，在附图3中所示，在第一法兰2的右侧开设第一凹槽21；在第一凹槽21内部设置第一密封件22，在第一密封件22的左侧设置外层观察窗7。这样的结构就将外部与外层观察窗7进行了密封，实现了真空镀膜室的密封条件。

为了进一步实现实施例，在附图3中所示，在第二法兰3上开设第二凹槽31，在第二凹槽31内设置第二密封件32；第二密封件32与外层观察窗7贴合。在第二凹槽31的下方设置一凸块33；在凸块33左侧设置内层观察窗8；在所述的凸块33的右侧设置一支撑块34；在支撑块34的右侧设置挡板6；

为了进一步实现实施例，在附图2中所示，挡板6连接在一根转轴5上；在转轴5的上方设置的一围板4；转轴4并穿过设置在第二法兰3上的转轴套35与磁耦合转动件1相连接。

为了实现挡板6的转动，在本实施例中，磁耦合转动件1包括磁耦合器11、转动件12；其中转动件12可以为气缸、伺服电机、步进电机中的任意一种。从而保证了挡板6的转动。

作为本实用新型的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，也是本实用新型的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。