一种真空镀膜室用双层防护观察窗的制作方法

技术特征：

1.一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的真空镀膜室用双层防护观察窗包括第一法兰、外层观察窗、内层观察窗、第二法兰，挡板；所述的第一法兰与第二法兰之间依次设置外层观察窗、内层观察窗；在内层观察窗的右侧设置挡板；所述的挡板为转动挡板。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于所述的第一法兰的右侧开设第一凹槽；在第一凹槽内部设置第一密封件，在第一密封件的左侧设置所述的外层观察窗。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，在所述的第二法兰上开设第二凹槽，在第二凹槽内设置第二密封件；第二密封件与外层观察窗贴合。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，在所述的第二凹槽的下方设置一凸块；在凸块的左侧设置内层观察窗；在所述的凸块的右侧设置一支撑块；在支撑块的右侧设置挡板。

5.如权利要求4所述的一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的挡板连接在一根转轴上；在转轴的上方设置的一围板；转轴并穿过设置在第二法兰上的转轴套与磁耦合转动件相连接。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的磁耦合转动件包括磁耦合器、转动件；转动件为气缸、伺服电机、步进电机中的任意一种。

7.如权利要求1所述的一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的外层观察窗的厚度大于内层观察窗厚度。