技术总结
本实用新型公开了一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的真空镀膜室用双层防护观察窗包括第一法兰、外层观察窗、内层观察窗、第二法兰，挡板；第一法兰与第二法兰之间依次设置外层观察窗、内层观察窗；在内层观察窗的右侧设置挡板；挡板为转动挡板；采用了挡板挡住真空镀膜室出现镀膜的颗粒物，延长镀膜的颗粒物污染观察室的时间；同时，在厚的观察室的里面设置一层较薄的观察室；这样，实现只要更换较薄的观察室就可以了，减少成本支出。
技术研发人员：杨元才;朱振东;褚景豫;钱鹏亮;熊凯
受保护的技术使用者：上海福宜真空设备有限公司
文档号码：201721135271
技术研发日：2017.09.06
技术公布日：2018.04.03