技术编号：1419078
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅片领域，特别是涉及一种硅片清洗装置。背景技术硅是太阳能光伏行业中的重要材料。太阳电池生产过程中，当使用P型硅作为电池基体材料时，在扩散过程中，磷和娃会在娃片表面形成一层化合物，我们称之为磷娃玻璃。这层物质会影响太阳光的入射，而且也会降低硅片表面和电极的接触性能，导致电池质量下降，所以需要去除这层磷硅玻璃。在实际生产中一般是利用稀氢氟酸溶液与磷硅化合物反应来去除磷硅玻璃，然后再经过去离子水漂洗。目前，太阳电池生产厂家一般都使用水平式去磷硅玻璃清洗...
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