技术编号：14257401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明构思涉及一种存储器装置。背景技术电子装置已经逐渐变小，然而仍然要求处理大量的数据。因此，在这种电子装置中使用的半导体存储器装置的集成程度也已经提高。为了提供半导体存储器装置中提高的集成度，已经用垂直晶体管结构，而不是平面晶体管结构来设置一些半导体存储器装置。发明内容本发明构思的实施例可以提供能够在提高集成度的同时确保改善的可靠性的存储器装置。根据本发明构思的实施例的一方面，一种存储器装置可以包括：栅极结构，包括在基底上交替地堆叠的多个栅电极层和多个绝缘层；多个蚀刻停止层，在栅电极层...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。