技术编号:14322665
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及碳化硅生产设备技术领域,具体涉及一种低传热速度的石墨籽晶轴装置。背景技术现有技术,是将热电偶温度计插入中空的石墨籽晶轴内,利用石墨轴内壁固定热电偶温度计,使其不会因旋转或者垂直移动而摆动,所以石墨轴中心圆孔的直径很小,生长晶体的尺寸越大,石墨轴的直径也越大。根据传热公式,传热速度Q与传热面积F成正比,石墨轴的传热面积大,传热速度快,使SiC溶液表面的热量散失加快,不利于有效的控制溶液表面的温度梯度。热量散失速度增加,石墨轴制造成本增加,导致了能源和资源方面的浪费。发明内容为解决上述...
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