一种低传热速度的石墨籽晶轴装置的制作方法

本实用新型涉及碳化硅生产设备技术领域，具体涉及一种低传热速度的石墨籽晶轴装置。

背景技术：

现有技术，是将热电偶温度计插入中空的石墨籽晶轴内，利用石墨轴内壁固定热电偶温度计，使其不会因旋转或者垂直移动而摆动，所以石墨轴中心圆孔的直径很小，生长晶体的尺寸越大，石墨轴的直径也越大。根据传热公式，传热速度Q与传热面积F成正比，石墨轴的传热面积大，传热速度快，使SiC溶液表面的热量散失加快，不利于有效的控制溶液表面的温度梯度。热量散失速度增加，石墨轴制造成本增加，导致了能源和资源方面的浪费。

技术实现要素：

为解决上述现有技术的不足，本实用新型提供一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括石墨轴，热电偶温度计，轴内支撑环，所述的石墨轴为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴内设置三个轴内支撑环，轴内支撑环结构为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，将热电偶温度计放入轴内支撑环内。

进一步地，石墨轴内径从上向下逐渐缩小。

进一步地，每个轴内支撑环的直径不同，与放入轴内位置的内径相同。

使用轴内支撑环时，首先把轴内支撑环放入内径中分段固定好，石墨轴内径从上向下逐渐缩小，可有效的防止轴内支撑环在重力作用下下滑至石墨轴底部堆积，然后把热电偶温度计缓缓放入石墨轴内孔，最后把石墨轴安装在上轴上。

有益效果：本实用新型不需要更换石墨材料的型号，也不需要更高的加工精度，增大了石墨轴内孔直径，增加轴内支撑环固定温度计，在高温状态下，石墨轴的传热速度大大降低，起到了有效控制坩埚内温度梯度的作用，提高了设备整体的保温性能。

附图说明

图1为石墨籽晶轴装置结构示意图；

图2为轴内支撑环结构示意图；

图3为图2的A-A剖视图；

其中，1为热电偶温度计，2为石墨轴，3为轴内支撑环。

具体实施方式

如图所示，一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括热电偶温度计1，石墨轴2，轴内支撑环3。

所述的石墨轴2为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴2内设置三个轴内支撑环3，轴内支撑环3结构为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，将热电偶温度计1放入轴内支撑环3内。

所述的石墨轴2内径从上向下逐渐缩小。

所述的每个轴内支撑环3的直径不同，与放入轴内位置的内径相同。

使用轴内支撑环3时，首先把轴内支撑环3放入内径中分段固定好，石墨轴2内径从上向下逐渐缩小，可有效的防止轴内支撑环3在重力作用下下滑至石墨轴底部堆积，然后把热电偶温度计1缓缓放入石墨轴2内孔，最后把石墨轴2安装在上轴上。