技术编号:1438479
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型溢胶清除装置包括一承载区、一环槽、至少一第一通道及至少一第二通道。该环槽环绕该承载区,且其槽口环绕该承载区。该第一通道连通该环槽,且用以对该环槽注入一正压气体,该正压气体带有有机溶液的成分。该第二通道连通该环槽,且用以对该环槽注入一负压气体,该负压气体用以对该环槽产生吸力。专利说明溢胶清除装置[0001]本实用新型是与半导体或液晶显示器制程设备有关,特别是指一种用于清除溢胶的溢胶清除装置。背景技术[0002]传统在进行压合制程时,通常会先在半导体...
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