技术编号：14384835
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜片、掩膜板、薄膜沉积设备。背景技术OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)显示面板，通过有机层自主发光显示，由于不需要背光，因此，其有更快的响应时间，而且具有可视角大、对比度高、重量轻、低功耗、易于制成柔性等特点，被认为是目前最有发展潜力的显示器件。对于OLED显示面板而言，其封装技术较为关键，目前有盖板式封装和TFE(Thin Film Encapsulation，薄膜封装)两种，由于TFE 可适用于柔...
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