技术编号:14384847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜技术领域,具体为一种可调节网状镀膜校正板。背景技术在真空镀膜中,蒸镀源(靶材)正上方的蒸发物浓度最高,导致镀膜基板上的薄膜厚度从中间到边缘出现不一致的现象,目前厚度均匀的薄膜获得通常是通过基板旋转架和膜厚修正板来解决,在镀膜基板架与蒸镀源之间设置一修正板,通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物,以减少蒸镀源正上方基板玻璃膜层的厚度,传统的镀膜修正版不可调节角度位置,致使在使用时极为不便,需制造不同类别的镀膜修正版来满足使用需求。经检索中国专利授权号CN 205501404 U,授...
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