一种可调节网状镀膜校正板的制作方法

文档序号:14384847阅读:151来源:国知局
一种可调节网状镀膜校正板的制作方法

本实用新型涉及镀膜技术领域,具体为一种可调节网状镀膜校正板。



背景技术:

在真空镀膜中,蒸镀源(靶材)正上方的蒸发物浓度最高,导致镀膜基板上的薄膜厚度从中间到边缘出现不一致的现象,目前厚度均匀的薄膜获得通常是通过基板旋转架和膜厚修正板来解决,在镀膜基板架与蒸镀源之间设置一修正板,通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物,以减少蒸镀源正上方基板玻璃膜层的厚度,传统的镀膜修正版不可调节角度位置,致使在使用时极为不便,需制造不同类别的镀膜修正版来满足使用需求。

经检索中国专利授权号CN 205501404 U,授权公告2016.08.24公开了一种可调节的镀膜修正板,包括修正板、直角螺杆、螺母、钢板带A、钢板带B、转轴、螺杆,所述修正板一端与直角螺杆一端连接,直角螺杆另一端安装在钢板带A上,所述钢板带A一端与钢板带B垂直连接,所述钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。

现有技术中的一种可调节的镀膜修正板存在以下不足之处:镀膜修正板是整面都是实心的,对于镀制大尺寸玻璃时,不能保证工件的各个部分镀膜速率一致,工件中心部分的镀膜不能保证其均匀性,致使合格率较低,且整体通过螺杆固定在镀膜仓上,连接不稳定,校正板与钢板带A不能实现竖直面上的转动调节。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种可调节网状镀膜校正板,解决了传统镀膜校正板在修正镀膜件特别是大尺寸镀膜件中心位置镀膜厚度时膜厚不均,致使合格率低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可调节网状镀膜校正板,包括钢丝网、校正板本体、第一钢板带、第二钢板带和安装板,所述钢丝网固定在校正板本体左侧,所述校正板本体背部固定有第三套筒,所述校正板本体背部的第三套筒通过固定螺栓安装在连杆左端的螺丝孔内,所述连杆右端安装有固定螺栓,所述连杆右端的固定螺栓依次穿过垫板和第一钢板带固定在滑块上,所述第一钢板带底部固定有第一套筒,所述第一套筒通过紧固螺栓安装在第二钢板带左端的第二套筒上,所述第二钢板带设置在安装板上的凹槽内,所述第二钢板带通过固定螺栓安装在凹槽底部的固定孔内。

优选的,所述第一钢板带设置在滑块和垫板之间,所述垫板设置在第一钢板带上方,所述滑块设置在第一钢板带背部。

优选的,所述第一钢板带与第二钢板带之间呈九十度。

优选的,所述第一套筒和第二套筒之间设置有垫片,所述第三套筒与连杆左端之间设置有垫片。

优选的,所述安装板上下两侧均设置有安装孔。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种可调节网状镀膜校正板,具备以下有益效果:

(1)本实用新型通过在朝向镀膜室中心的校正板本体一侧加装钢丝网,对于镀制大尺寸玻璃时,可有效提高工件中心部分的镀膜均匀性,从而提高合格率。

(2)本实用新型通过在校正板本体背部设置第三套筒,使得校正板本体可根据使用需求沿着连杆进行转动调节,使用方便,在第三套筒和连杆的连接面安装垫片提高连接紧密度,防止使用时发生松动,第一钢板带和第二钢板带通过第一套筒和第二套筒进行连接,在使用时可根据镀膜的条件进行相应的转动调节。

(3)本实用新型连杆和第一钢板带以及安装板和第二钢板带采用固定螺栓进行固定连接,在使用时可根据使用情况调节连杆在第一钢板带以及第二钢板带在安装板上的相对位置来实现纵轴和竖轴两个方向上的调节,将整个部件通过安装板固定在镀膜室上,相比与传统的固定方式更加稳定,调节更加方便。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图;

图2为本实用新型校正板本体与第一钢板带内部连接结构示意图;

图3为本实用新型安装板结构示意图。

图中:1钢丝网、2校正板本体、3连杆、4固定螺栓、5垫板、6第一钢板带、7第一套筒、8第二套筒、9紧固螺栓、10第二钢板带、11安装板、12第三套筒、13滑块、14固定孔、15凹槽、16安装孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示,本实用新型提供一种技术方案:一种可调节网状镀膜校正板,包括钢丝网1、校正板本体2、第一钢板带6、第二钢板带10和安装板11,钢丝网1固定在校正板本体2左侧,校正板本体2背部固定有第三套筒12,校正板本体2背部的第三套筒12通过固定螺栓4安装在连杆3左端的螺丝孔内,可使校正板本体2在连杆3的方向上实现竖向转动调节,第三套筒12与连杆3左端之间设置有垫片,增加了连接稳定性,连杆3右端安装有固定螺栓4,连杆3右端的固定螺栓4依次穿过垫板5和第一钢板带6固定在滑块13上,第一钢板带6设置在滑块13和垫板5之间,降低连杆3与第一钢板带66连接固定时的磨损程度,提高连接稳定性,垫板5设置在第一钢板带6上方,滑块13设置在第一钢板带6背部,第一钢板带6底部固定有第一套筒7,第一套筒7通过紧固螺栓9安装在第二钢板带10左端的第二套筒8上,实现了第一钢板带6与第二钢板带10的相对转动,第一套筒7和第二套筒8之间设置有垫片,第一钢板带6与第二钢板带10之间呈九十度,第二钢板带10设置在安装板11上的凹槽15内,第二钢板带10通过固定螺栓4安装在凹槽15底部的固定孔14内,安装板11上下两侧均设置有安装孔16,将第二钢板带10通过安装板11固定在镀膜仓上增加整体稳定性。

使用时,首先将安装板11安装在镀膜室中心一侧,根据镀膜仓中的待镀膜产品调整第二钢板带10在安装板11上的位置以及连杆3在第一钢板带6上的位置,之后微调第一钢板带6相对第二钢板带10的转角和校正板本体2相对于第一钢板带6的转角来实现精准的定位,校正板本体2放置在蒸镀源正上方的蒸发物处阻挡镀膜速率较快的位置,使薄膜的厚度分布达到均匀一致,对于镀制大尺寸玻璃时,校正板本体2一侧的钢丝网1可有效提高中心部分的膜厚均匀性,从而提高合格率。

综上可得,本实用新型通过设置钢丝网1、校正板本体2、第一钢板带6、第二钢板带10和安装板11,解决了传统镀膜校正板在修正镀膜件中心位置镀膜厚度时膜厚不均,致使合格率低的问题。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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