专利名称：镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜
直O
背景技术：
采用镀膜机于工件表面镀膜可提高工件表面性能。镀膜仓作为镀膜机最重要的部件，一般内设有伞架、电子枪及反应气体。该伞架的伞面设有多个通孔。多个待镀工件固定于托盘内，该托盘收容于该通孔内，并可于该通孔内翻面。该电子枪及反应气体同设于伞架下方，该电子枪发射电子束，该电子束与反应气体反应，从而于工件表面形成镀膜。但是，伞面通常呈弧形，导致伞面各处的反应气体密度及电子密度可能不一致，业界常于该伞架下方设置镀膜修正板。镀膜时，该伞架围绕自身中轴线旋转，该镀膜修正板保持静止，通过控制该镀膜修正板的宽窄来调整伞架伞面各处的气流及离子密度至一致，从而实现伞面各处工件的镀膜厚度一致。当下，通常采用黏贴铝箔来调节镀膜修正板的宽窄。这导致该铝箔亦会被镀上镀层。由于铝箔较薄，承重能力有限，后续镀膜仓加热时铝箔上的镀层易脱离铝箔而污染镀膜仓。故，需常更换铝箔来降低污染。此举相当耗时，影响产品产出。另，对于已调整好宽度的镀膜修正板，更换铝箔时，人工黏贴难保将铝膜黏贴于镀膜修正板的确定位置，可能造成更换铝箔前后的工件镀膜厚度不一致。因此，有必要提供一种镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置来提高镀膜均勻性。
发明内容
一种镀膜修正板，包括具有第一表面的板体，多个石英晶体微量天平、多条信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块。每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号。每条信号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模块相连，用于将该振荡信号传输至该处理控制模块。 该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作。该驱动装置用于于该处理控制模块的控制下驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。一种镀膜装置，包括镀膜仓、设于该镀膜仓内的伞架及前述镀膜修正板。该镀膜修正板设于该镀膜仓内并位于该伞架下方，其板体具有第一表面及与该第一表面相对的第二表面，该第二表面面对该伞架。综上，石英晶体微量天平感测精度高，响应速度快。故，该第一补偿板及第二补偿板能快速调整板体的第一表面的面积，从而提高镀膜均勻性。使用该第一补偿板及第二补偿板取代铝箔，无需时常更换，既减少镀膜仓污染，又节省时间，可提高镀膜效率。另，即使伞架偏移原固定位置，镀膜修正板亦可校正镀膜均勻性。
图1为本技术方案--实施方式提供的镀膜装置的剖示图。
图2为图1所示镀膜装置的镀膜修正板从一视角所得示图。
图3为图2所示镀膜修正板从与图2相反方向视角所得示图。
图4为图3所示镀膜修正板的分解图。
图5为图3所示镀膜修正板调整宽度的状态图。
主要元件符号说明
镀膜装置200
镀膜仓210
溅镀靶材220
伞架230
顶壁2101
本体2301
转动轴2302
通孔2303
镀膜修正板100
第一表面101
第一侧壁103
第二侧壁104
板体10
第一补偿板11
第二补偿板12
第一列133
第二列134
石英晶体微量天平13
第一电极131
信号线14
处理控制模块15
第二表面102
第二电极132
驱动装置16
第一驱动器161
第一传动杆162
第二驱动器163
第二传动杆16具体实施方式
以下结合附图及具体实施方式
对本技术方案提供的镀膜修正板及镀膜装置进行详细说明。请参见图1，本技术方案一实施方式提供的镀膜装置200包括镀膜仓210、溅镀靶材220、伞架230及镀膜修正板100。镀膜仓210具有顶壁2101。伞架230、溅镀靶材220 及镀膜修正板100均设于该镀膜仓210内。伞架230包括呈伞状的本体2301及转动轴2302。转动轴2302 —端与该顶壁2101 可转动相连，另一端连接于该本体2301的几何中心。该转动轴2302可于驱动机构的驱动下转动，由此带动该伞架230围绕该转动轴2302转动。本体2301围绕该转动轴2302设有多个通孔2303。每个通孔2303用于收容固定一承载盘。该承载盘用于收容多个待镀工件。请一并参阅图1-5，镀膜修正板100包括板体10、第一补偿板11、第二补偿板12、 多个石英晶体微量天平13、多根信号线14、控制处理模块15及驱动装置16。板体10具有第一表面101、与第一表面101相对的第二表面102、第一侧壁103及与第一侧壁103相对的第二侧壁104。第一侧壁103及第二侧壁104连设于第一表面101 与第二表面102之间。板体10可通过固定件，如悬臂梁，以第二表面102面朝伞架230的方式固定于伞架230下方。该多个石英晶体微量天平13嵌设于板体10内，沿板体10的长度方向等间距排布成三行两列，下称第一列133及第二列134。其中，第一列133靠近第一侧壁103，第二列134 靠近第二侧壁104。石英晶体微量天平13基于石英晶体传感器的压电效应原理来感测镀层重量。每个石英晶体微量天平13可为市售任何型号。举例而言，石英晶体微量天平13可呈三明治结构，包括第一电极131、石英晶体传感器(图未示)及第二电极132。第一电极 131从第一表面101内暴露出来。该石英晶体传感器夹设于第一电极131及第二电极132 之间，第二电极132靠近第二表面102。第一电极131及第二电极132均与信号线14相连。 当第一电极131的表面被镀上镀层的瞬间，该镀层冲击该石英晶体传感器，形成冲击力，该石英晶体传感器于该冲击力的作用下因压电效应于第一电极131及第二电极132处产生反映该镀层重量的谐振式振荡电路，并将该振荡电路的振荡频率传输至信号线14。控制处理模块15设于第二表面102，其与每条信号线14通信，用于记录每个石英晶体微量天平13的晶体振荡频率，根据该晶体振荡频率计算镀膜重量，并分析比较计算每个第一电极131上的镀膜重量，得出镀膜重量最大的一列。控制处理模块15还用于根据该分析比较结果控制驱动装置16的运作。驱动装置16包括第一驱动器161、第一传动杆162、第二驱动器163及第二传动杆 164。第一传动杆162的一端与第一驱动器161相连，另一端与第一补偿板11相连。第二传动杆164的一端与第二驱动器163相连，另一端与第二补偿板12相连。第一驱动器161 及第二驱动器162均设于板体10的第二表面102，均可围绕自身中轴线转动，分别用于驱动第一传动杆162围绕第一驱动器161转动及驱动第二传动杆164围绕第二驱动器163围绕第二驱动器163转动。如此，第一补偿板11及第二补偿板12可运动至与板体10部分或完全重叠或与板体10的第一侧壁103及第二侧壁104接触来补偿板体10的第一表面101的面积，或自该板体10移走。该驱动器161可为马达或常见驱动机构。于实际镀膜过程中，每个石英晶体微量天平13的第一电极131表面由于正对溅镀靶材220，将形成镀层。该镀层形成于第一电极131的瞬间施予该第一电极131冲击力，石英晶体微量天平13受到该冲击力产生压电效应，形成反映该镀层重量的振荡信号。该振荡信号将通过一根信号线14传输至控制处理模块15。控制处理模块15根据该振荡信号计算出每个第一电极131上的镀膜重量，并比较得出镀膜重量最大值。举例而言，若控制处理模块15计算得出第二列134中的每个第一电极131上形成的镀层重量相等，且大于第一列 133中每个第一电极131上形成的镀层重量，则控制处理模块15开启与第二补偿板12相连的第二驱动器163，第二补偿板12将在第二传动杆164的带动下朝靠近板体10的方向运动至与板体10的第二表面102部分重迭或刚好与第二侧壁104接触，即增大板体10的宽度， 直至所有第一电极131上形成的镀层重量相同，即伞架各处的工件的镀层重量相同。反之， 若第一列133的每个第一电极131形成的镀层重量大于第二列134中每个第一电极132上形成的镀层重量，则第一补偿板12将运动至与板体10接触，直至所有第一电极131上形成的镀层重量相同。石英晶体微量天平13精度高，响应速度快，能实时感测镀层厚度。故，第一补偿板 11及第二补偿板12可根据该石英晶体微量天平13的感测结果快速补偿板体10的第一表面101的面积，从而提高镀膜均勻性。相较于现有技术，使用该修正板100无需时常更换， 既减少镀膜仓污染，又节省时间，可提高镀膜效率。另，即使伞架230偏移原固定位置，该镀膜修正板100亦可校正镀膜均勻性。该镀膜修正板100的多个石英晶体微量天平13不限于等间距排布成两列，可任意排布，驱动装置16的结构不限于此，只要能驱动第一补偿板11及第二补偿板12相对板体 10运动来增加板体10宽度，直至所有石英晶体微量天平13感测的镀膜重量一致即可。可以理解的是，本领域技术人员还可于本发明精神内做其它变化等用于本发明的设计，只要其不偏离本发明的技术效果均可。这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围内。
权利要求
1.一种镀膜修正板，包括板体，该板体具有第一表面，其特征是，该镀膜修正板还包括多个石英晶体微量天平、多条信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块， 每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号，每条信号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模块相连，用于将该振荡信号传输至该处理控制模块，该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作，该驱动装置用于于该处理控制模块的控制下驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。
2.如权利要求1所述的镀膜修正板，其特征是，该板体还包括与该第一表面相对的第二表面，每个石英晶体微量天平包括第一电极及与该第一电极相对的第二电极，该第一电极从该第一表面暴露出来，该第二电极暴露于该第二表面，该第一电极及该第二电极通过该信号线与该处理控制模块相连。
3.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征是，该信号线、该处理控制模块及该驱动装置同设于该第二表面。
4.如权利要求3所述的镀膜修正板，其特征是，该驱动装置包括第一驱动器、第一传动杆、第二驱动器及第二传动杆，该第一传动杆两端分别与该第一驱动器及该第一补偿板相连，该第二传动杆两端分别与该第二驱动器及该第二补偿板相连，该第一驱动器及该第二驱动器均设于该第二表面，分别用于驱动该第一传动杆及该第二传动杆相对该第二表面运动。
5.如权利要求1所述的镀膜修正板，其特征是，该多个石英晶体微量天平呈阵列排布。
6.一种镀膜装置，包括镀膜仓、设于该镀膜仓内的伞架及镀膜修正板，该镀膜修正板设于该伞架下方，其包括板体，该板体具有第一表面及与该第一表面相对的第二表面，该第二表面面对该伞架，其特征是，该镀膜修正板还包括多个石英晶体微量天平、多条信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块，每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号，每条信号线与一石英晶体微量天平及该处理控制模块相连，用于将该振荡信号传输至该处理控制模块，该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作，该驱动装置用于于该处理控制模块的控制下驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。
7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征是，每个石英晶体微量天平包括第一电极及与该第一电极相对的第二电极，该第一电极从该第一表面暴露出来，该第二电极暴露于该第二表面，该第一电极及该第二电极通过该信号线与该处理控制模块相连。
8.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征是，该信号线、该处理控制模块及该驱动装置同设于该第二表面。
9.如权利要求8所述的镀膜装置，其特征是，该驱动装置包括第一驱动器、第一传动杆、第二驱动器及第二传动杆，该第一传动杆两端分别与该第一驱动器及该第一补偿板相连，该第二传动杆两端分别与该第二驱动器及该第二补偿板相连，该第一驱动器及该第二驱动器均设于该第二表面，分别用于驱动该第一传动杆及该第二传动杆相对该第二表面运动。
10.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征是，该多个石英晶体微量天平呈阵列排布。
全文摘要
本发明涉及一种镀膜修正板及包括该镀膜修正板的镀膜装置。该镀膜修正板包括具有第一表面的板体、多个石英晶体微量天平、多条信号信号线、第一补偿板、第二补偿板、驱动装置及处理控制模块。每个石英晶体微量天平自该第一表面嵌设于该板体内，用于感测镀层重量，并将该镀层重量转化为振荡信号。每条信号线与一个石英晶体微量天平及该处理控制模块相连。该处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该镀层重量值，并根据该计算结果控制该驱动装置运作。该驱动装置用于驱动该第一补偿板及/或第二补偿板运动至与该板体接触来补偿该第一表面的面积，直至所有石英晶体微量天平感测的镀层重量值相等。使用该镀膜修正板可减少镀膜仓污染。
文档编号C23C16/48GK102312223SQ201010212629
公开日2012年1月11日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司