专利名称：硅片镀膜载板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片镀膜设备技术领域，特别是一种硅片镀膜设备内的镀膜载 板。
背景技术：
现有的太阳能电池载板式PECVD镀膜设备，如Roth&Rau公司的，均采用石墨 材质的载板，一方面，在石墨载板的前端与后端容易出现成膜膜厚和折射率不均勻的现 象，造成薄膜颜色上的差异，影响电池外观；另一方面，同时载板的强度在使用过程中 会降低。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是生长膜厚和折射率均勻的薄膜，减少生产 过程中的色差现象。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种硅片镀膜载板，在载 板的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的勻流条，勻流条高出载板的上端和下端。具体的，勻流条高出载板上端2 10mm，高出载板下端2 10mm。勻流条为石墨材质。本实用新型的有益效果是勻流条的安装可以显著的降低载板前后端色差片的 产生；同时勻流条的安装增加了石墨载板的强度，使载板更加平稳的运行于设备中，降 低设备发生故障的几率。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是载板安装勻流条的侧面图；图2是载板安装勻流条的俯视图；其中1.载板，2.勻流条。
具体实施方式
现在结合附
图1和2对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的 示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的 构成。如
图1和2所示，以156mm*156mm准方形多晶硅太阳能电池用载板为例，在 载板1的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的勻流条2，勻流条2高出载板上端 2 10mm，高出载板下端2 10mm。勻流条2为石墨材质。
权利要求1.一种硅片镀膜载板，其特征是在载板(1)的前端与后端分别安装一条垂直载板 前进方向的勻流条(2)，勻流条(2)高出载板的上端和下端。
2.根据权利要求1所述的硅片镀膜载板，其特征是所述的勻流条(2)高出载板上端 2 10mm，高出载板下端2 10mm。
3.根据权利要求1或2所述的硅片镀膜载板，其特征是所述的勻流条(2)为石墨材质。
专利摘要本实用新型涉及硅片镀膜设备技术领域，特别是一种硅片镀膜设备内的镀膜载板，在载板的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条，匀流条高出载板的上端和下端。匀流条的安装可以显著的降低载板前后端色差片的产生；同时匀流条的安装增加了石墨载板的强度，使载板更加平稳的运行于设备中，降低设备发生故障的几率。
文档编号C23C16/458GK201793736SQ20102054804
公开日2011年4月13日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者张瞩君 申请人:常州天合光能有限公司