一种快速擦洗硅片承载盒的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶硅太阳能电池片制造领域，具体地涉及一种快速擦洗硅片承载盒的装置。
【背景技术】
[0002]在晶硅太阳能电池片的制绒工序中，原硅片经过HF、HN03、H20的混合酸液腐蚀后，硅片的下表面相对于上表面有更低的反射率、更均匀的绒面大小与深度，从而采用制绒下表面作为扩散面，相比较上表面扩散面，电池片效率更高。
[0003]制绒过程采用自动化方式下料，硅片经过传送带，进入硅片承载盒，下表面会与承载盒侧边相接触，若承载盒边缘有灰尘、酸碱残留等杂质，容易沾染到硅片的下表面上。在扩散工序中，800°C以上的高温使杂质中心成为缺陷富集处，导致方阻异常、酸碱高温下腐蚀硅片表面形成蓝点、黑点异常，该类异常片需要隔离返工。
[0004]因此，硅片承载盒每间隔一定期限需要进行清理，通用的清理方法为采用HF:HCL:H20 = 4:1:10的混合酸液进行浸泡4H，再水洗烘干处理。其实际清理效果不佳，对于附着在料盒上的顽固污渍，无法完全清楚;承载盒上未彻底清理的污渍，很容易形成新的污染富集中心，使制绒后的硅片沾染杂质导致扩散后成为异常片返工，降低公司优质率，增加了返工成本。因此，需要采用新的方式彻底清洁承载盒，减少对硅片扩散面的污染。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种快速擦洗硅片承载盒的装置，达到彻底清洁承载盒，减少对硅片扩散面的污染，降低扩散后蓝黑点返工率的目的。
[0006]本实用新型采用的技术解决方案是:一种快速擦洗硅片承载盒的装置，包括铁板和容量瓶清洗刷，以铁板中心为基准，根据承载盒的间距设计该装置的尺寸，在铁板上与承载盒挡板相对应的位置开孔，并采用螺丝固定容量瓶清洗刷。
[0007]本实用新型的有益效果是通过使用本实用新型提供的快速擦洗硅片承载盒的装置，降低了扩散工序因制绒引起的蓝黑点返工比例。
【附图说明】
[0008]图1是承载盒清洁器主视图
[0009]图2是承载盒清洁器俯视图
[0010]图中:I为铁板，2为容量瓶清洗刷，3为螺丝
【具体实施方式】
[0011 ]下面结合附图对本实用新型提供的技术方案作进一步详细说明。
[0012]在本实施例中，如图1所示，采用一块长165cm*宽5cm*厚0.3cm的铁板，以铁板中心为基准，并以图2所示每间隔0.5cm在铁板上以Φ3πιπι开孔9个，孔中采用螺丝固定实验室用200ml容量瓶清洗刷，制成一个简易承载盒清洁器。采用此简易承载盒清洁器沾取酒精擦洗承载盒凹槽，在制绒工序交接班时由生产操作员对所有硅片承载盒沾酒精进行擦洗操作。采用改进后的硅片承载盒清理方式，相较之前HF、HCL、H2O混合液浸泡的方式清理硅片承载盒，扩散工序制绒相关的蓝黑点返工比率由0.6%下降到0.28%。
【主权项】
1.一种快速擦洗硅片承载盒的装置，包括铁板和容量瓶清洗刷，其特征在于:以铁板中心为基准，根据承载盒的间距设计该装置的尺寸，在铁板上与承载盒挡板相对应的位置开孔，并采用螺丝固定容量瓶清洗刷。
【专利摘要】本实用新型公开了一种快速擦洗硅片承载盒的装置，包括铁板和容量瓶刷，以铁板中心为基准，根据承载盒的间距设计该装置的尺寸，在铁板上与承载盒挡板相对应的位置开孔，并采用螺丝固定容量瓶清洗刷。本实用新型的有益效果是通过使用本实用新型提供的快速擦洗硅片承载盒的装置，降低了扩散工序因制绒引起的蓝黑点返工比例。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205282453
【申请号】CN201521040565
【发明人】顾君, 方智, 王庆钱
【申请人】浙江鸿禧能源股份有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年12月15日