一种硅片连接结构的制作方法

文档序号:9856124阅读:293来源:国知局
一种硅片连接结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及硅片清洗工装领域,具体为一种硅片连接结构。
【背景技术】
[0002]硅片清洗是硅棒在经过切割机切割后,将切割好的硅片与尚粘连的连接件一起运至清洗工位上进行清洗,现有一般采用硅棒夹具,其配置有传动机构及输送架,一旦生产流水线上需要多个硅片输送时,则对匹配输送架的数量要求高,相对来说增加了成本。
[0003]

【发明内容】

[0004]针对上述问题,本发明提供了一种硅片连接结构,其结构简单,能可靠固定住硅片连接件便于清洗,针对多个硅片输送时,无需增设输送架。
[0005]其技术方案是这样的,其包括硅片连接件、支撑杆,硅片粘连于所述硅片连接件上,所述支撑杆的一端设置有限位环,其特征在于:所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔,所述支撑杆的另一端设置有螺纹,两根所述支撑杆的螺纹端连接所述螺纹孔。
[0006]本发明的有益效果在于:硅片连接件的中部设置螺纹孔,两根一端设有螺纹的支撑杆的螺纹端连接螺纹孔,这样在运送硅片时,只要将两根支撑杆拧入硅片连接件,支撑杆架在输送机构上,再由限位环限位,即可很方便地进行运送,不需要配设更多的输送架等设备,成本相对降低。
【附图说明】
[0007]图1为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]见图1,本发明包括硅片连接件1、支撑杆2,硅片3粘连于硅片连接件I上,支撑杆2的一端设置有限位环4,硅片连接件I的中部设置螺纹孔5,支撑杆2的另一端设置螺纹,两根支撑杆2的螺纹端连接螺纹孔5。
【主权项】
1.一种硅片连接结构,其包括硅片连接件、支撑杆,硅片粘连于所述硅片连接件上,所述支撑杆的一端设置有限位环,其特征在于:所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔,所述支撑杆的另一端设置有螺纹,两根所述支撑杆的螺纹端连接所述螺纹孔。
【专利摘要】本发明提供了一种硅片连接结构,其结构简单,能可靠固定住硅片连接件便于清洗,针对多个硅片输送时,无需增设输送架。其包括硅片连接件、支撑杆,硅片粘连于所述硅片连接件上,所述支撑杆的一端设置有限位环,其特征在于:所述硅片连接件的中部设置有螺纹孔,所述支撑杆的另一端设置有螺纹,两根所述支撑杆的螺纹端连接所述螺纹孔。
【IPC分类】B65G35/00, B65G7/00
【公开号】CN105620997
【申请号】CN201410601052
【发明人】田芸
【申请人】无锡市福曼科技有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年11月1日
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1