一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到单晶硅片的生产领域，具体的说是一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装。
【背景技术】
[0002]在硅片生产过程中，常需将两硅片片盒盒口对齐，完成将一片盒中的硅片倒入另一片盒中的工作，有时需片盒间反向倒片(一片盒H面与另一片盒U面相对齐倒片)以使硅片反向。而手动倒片时硅片滑动速度难以控制、片盒口难以对齐造成硅片崩边、表面划伤、倒错位等现象，特别是在片盒反向倒片时更易发生此类现象。传统的手动操作倒片工具在使用过程中存在片盒放置困难、难以定位的缺点，使片盒盒口难以对齐，放置过程中硅片易于震动造成损伤，在倒片将结束时没有限速装置使速度不易控，易造成硅片移动速度快而撞击片盒底部造成硅片损伤，且传统倒片工具不具有片盒U面朝下反向倒片的功能。
【实用新型内容】
[0003]为解决现有的倒片工具在倒片时两个片盒的盒口难以准确定位的问题，本实用新型提供了一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，该工装能够轻易的完成从一片盒到另一片盒的倒片工作，完成片盒间的反向倒片工作，且通过设置阻尼器，从而在倒片将结束时限制倒片速度以避免造成硅片损伤。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，包括一倒片工作台、分别设置在倒片工作台上方和下方的硅片推杆和滑轨，其中，滑轨上设置滑动设置有横梁，硅片推杆通过一连接件与横梁连接，从而使硅片推杆通过滑轨实现在倒片工作台上的往复运动；所述倒片工作台上表面的中部垂直于滑轨平行设置有两条凸起筋，从而将倒片工作台分成左右两个放置片盒的台面，且两条凸起筋上分布有若干卡紧片盒的定位槽，从而将放置在左右两台面的片盒对齐并卡紧。
[0005]所述滑轨远离连接件的一端设置有阻尼器，以对横梁在滑轨上的滑动进行减速。
[0006]所述横梁内部设有供滑轨穿过的滑轨通道，该滑轨通道由靠近连接件一侧的圆柱通道和远离连接件一侧的圆台通道连接而成，且圆台通道的内径从靠近连接件的一侧向另一侧逐渐增大，以使圆台通道的内壁与阻尼器配合实现减速。
[0007]所述阻尼器具有圆台状外形，且其直径从靠近连接件的一侧向另一侧逐渐增大。
[0008]本实用新型中，连接件为U形，以使其随横梁在滑轨上运动时不会撞击倒片工作台。
[0009]本实用新型中，通过两条凸起筋及其上的定位槽，分别对两个硅片片盒进行前后定位，不论是硅片片盒的H面还是U面的缺口，均能卡在定位槽内，且通过调整两条凸起筋的间距以及其上定位槽的分布，使两个硅片片盒卡在定位槽内时，两个片盒的盒口完全对应；通过在凸起筋上设置不同的定位槽，从而对应不同尺寸的片盒。
[0010]有益效果:本实用新型通过在倒片工作台上设置两条带有定位槽的凸起筋完成对两个片盒的定位和卡紧，而且无论片盒H面、U面向下均可实现定位，从而完成片盒的简易定位，正反定位，使盒口对齐并通过硅片推杆完成倒片；通过在滑轨末端安装阻尼器，从而完全对娃片推杆在倒片末端时的减速，防止了娃片撞击片盒而产生损伤。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]图2为图1的仰视图；
[0013]图3为倒片工作台的俯视图；
[0014]图4为硅片推杆与横梁的连接结构图；
[0015]图5为图4在A-A处的剖视图；
[0016]附图标记:1、倒片工作台，2、凸起筋，3、定位槽，4、阻尼器，5、娃片推杆，6、圆台通道，7、滑轨，8、横梁，9、连接件，10、圆柱通道。
【具体实施方式】
[0017]如图所示，一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，包括一倒片工作台1、分别设置在倒片工作台I上方和下方的硅片推杆5和滑轨7，其中，滑轨7上设置滑动设置有横梁8，硅片推杆5通过一连接件9与横梁8连接，从而使硅片推杆5通过滑轨7实现在倒片工作台I上的往复运动，并且在往复运动过程中，推动硅片从倒片工作台I的一端运动到另一端，同时，连接件9上具有一 U型结构，从而防止其在随滑轨7运动的过程中撞击倒片工作台I ;所述倒片工作台I上表面的中部垂直于滑轨7平行设置有两条凸起筋2，从而将倒片工作台I分成左右两个放置片盒的台面，且两条凸起筋2上分布有若干卡紧片盒的定位槽3，从而将放置在左右两台面的片盒对齐并卡紧。
[0018]以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进:
[0019]如，为了防止硅片推杆5在推动硅片在左右两个片盒内滑动时由于速度过快导致硅片撞击片盒所引起的硅片损坏，本实用新型可在滑轨7远离连接件9的一端设置阻尼器4，以对横梁8在滑轨7上的滑动进行减速，从而实现了硅片推杆5在推片过程末的减速；
[0020]进一步的，所述横梁8内部设有供滑轨7穿过的滑轨通道，该滑轨通道由靠近连接件9 一侧的圆柱通道10和远离连接件9 一侧的圆台通道6连接而成，且圆台通道6的内径从靠近连接件9的一侧向另一侧逐渐增大，以使圆台通道6的内壁与阻尼器4配合实现减速；
[0021]更进一步的，所述阻尼器4具有圆台状外形，且其直径从靠近连接件9的一侧向另一侧逐渐增大，从而与圆台通道6进行配合。
[0022]本实用新型在使用时，首先将硅片推杆5拉到图1所示的最右端，然后将片盒H面或U面(反向倒片时)朝下放在倒片工作台I上，并通过倒片工作台I上的两根平行凸起筋2右侧的一根及与片盒尺寸对应的定位槽3定位片盒。用同样的方法将另一片盒放在倒片工作台I的左侧，然后向左推动硅片推杆5使硅片从右侧片盒进入左侧片盒，在硅片即将进入左侧片盒底部时，滑轨7末端的阻尼器4对硅片推杆5配合减速，使硅片缓慢进入不会撞击片盒底部造成损伤。
【主权项】
1.一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，其特征在于:包括一倒片工作台(I)、分别设置在倒片工作台(I)上方和下方的硅片推杆(5)和滑轨(7)，其中，滑轨(7)上设置滑动设置有横梁(8)，硅片推杆(5)通过一连接件(9)与横梁(8)连接，从而使硅片推杆(5 )通过滑轨(7 )实现在倒片工作台(I)上的往复运动；所述倒片工作台(I)上表面的中部垂直于滑轨(7)平行设置有两条凸起筋(2)，从而将倒片工作台(I)分成左右两个放置片盒的台面，且两条凸起筋(2)上分布有若干卡紧片盒的定位槽(3)，从而将放置在左右两台面的片盒对齐并卡紧。2.根据权利要求1所述的一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，其特征在于:所述滑轨(7)远离连接件(9)的一端设置有阻尼器(4)，以对横梁(8)在滑轨(7)上的滑动进行减速。3.根据权利要求2所述的一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，其特征在于:所述横梁(8)内部设有供滑轨(7)穿过的滑轨通道，该滑轨通道由靠近连接件(9) 一侧的圆柱通道(10)和远离连接件(9) 一侧的圆台通道(6)连接而成，且圆台通道(6)的内径从靠近连接件(9)的一侧向另一侧逐渐增大，以使圆台通道(6)的内壁与阻尼器(4)配合实现减速。4.根据权利要求2或3所述的一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，其特征在于:所述阻尼器(4)具有圆台状外形，且其直径从靠近连接件(9)的一侧向另一侧逐渐增大。
【专利摘要】一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，包括倒片工作台、分别设置在倒片工作台上方和下方的硅片推杆和滑轨，倒片工作台上表面的中部垂直于滑轨平行设置有两条凸起筋，凸起筋上分布有若干卡紧片盒的定位槽，硅片推杆通过在滑轨上滑动实现将硅片从一个片盒推到另一个片盒中。本实用新型通过在倒片工作台上设置两条带有定位槽的凸起筋完成对两个片盒的定位和卡紧，而且无论片盒H面、U面向下均可实现定位，从而完成片盒的简易定位，正反定位，使盒口对齐并通过硅片推杆完成倒片；通过在滑轨末端安装阻尼器，从而完全对硅片推杆在倒片末端时的减速，防止了硅片撞击片盒而产生损伤。
【IPC分类】H01L21/677
【公开号】CN204885118
【申请号】CN201520609232
【发明人】赵文龙, 李宏儒, 胡晓亮, 高烨, 张磊, 史舸, 张明亮, 郭光灿
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年8月14日