一种蒸镀机的蒸发源盖板结构的制作方法

本实用新型涉及OLED有机材料蒸镀生产设备领域，特别是涉及一种蒸镀机的蒸发源盖板结构。

背景技术：

OLED有机材料真空蒸镀的原理为：有机材料在真空中通过电流加热、电子束轰击加热和激光加热等方法，被蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程做直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜。

在OLED有机材料蒸镀过程中，由于蒸发源长时间持续工作，蒸发源喷头(nozzle)左右两侧的盖板会沉积大量的蒸镀材料，这些材料不断累积会影响蒸镀速率的稳定性，甚至会造成蒸发源中蒸镀喷头(nozzle)堵塞，影响产品性能。鉴于此，需对蒸发源的结构改进。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种蒸镀机的蒸发源盖板结构，通过在蒸发源盖板本体表面覆设双层网状编织结构来吸附在蒸镀过程中沉积的蒸镀材料，从而解决蒸镀喷头被堵塞的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种蒸镀机的蒸发源盖板结构，包括蒸镀喷头和位于蒸镀喷头左右两侧的第一蒸发源盖板本体和第二蒸发源盖板本体，在所述第一蒸发源盖板本体和第二蒸发源盖板本体的上下表面各覆设有一双层网状编织结构。

进一步地，第一蒸发源盖板本体和第二蒸发源盖板本体沿蒸镀喷头所在纵向轴对称。

进一步地，第一蒸发源盖板本体和第二蒸发源盖板本体与水平面呈设定的倾斜角度。

更进一步地，第一蒸发源盖板本体与水平面之间的倾斜角为90°至 180°，第二蒸发源盖板本体与水平面之间的倾斜角为0°至90°。

进一步地，所述双层网状编织结构由第一编织层和第二编织层编织而成，所述网状编织结构紧贴第一蒸发源盖板本体或第二蒸发源盖板本体的上表面或鞋表面。

更进一步地，所述第一编织层的网孔孔径小于第二编织层的网孔孔径。

更进一步地，所述第一编织层的编织条宽度大于第二编织层的编织条的宽度。

更进一步地，所述第一编织层和第二编织层的网孔形状根据需要制成。

本实用新型的有益效果为：在本实用新型的蒸镀机的蒸发源盖板结构中，在蒸镀喷头左右两侧的蒸发源盖板本体的上下表面覆设双层网状编织结构，使从蒸镀喷头喷出的蒸镀材料沉积在双层网状编织结构的网孔中，有效减少蒸发源盖板上累积的有机材料，极大提高蒸发源连续使用时间，从而提高产能；同时避免蒸镀材料堵塞蒸镀喷头，提高产品良率。

附图说明

图1是本实用新型中蒸镀机的蒸发源结构示意图；

图2-1、2-2是本实用新型中双层网状编织结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参见图1、图2-1,2-2，一种蒸镀机的蒸发源盖板结构，所述蒸镀机设有蒸镀喷头1和位于蒸镀喷头1左右两侧的第一蒸发源盖板本体2和第二蒸发源盖板本体3，在所述第一蒸发源盖板本体2和第二蒸发源盖板本体3 的上下表面21,22、23,24各覆设有一双层网状编织结构4。

在本实施例中，第一蒸发源盖板本体2和第二蒸发源盖板本体3沿蒸镀喷头1所在纵向轴对称。

在本实施例中，第一蒸发源盖板本体2和第二蒸发源盖板本体3与水平面呈设定的倾斜角度。

在本实施例中，第一蒸发源盖板本体2与水平面之间的倾斜角为90°至180°，第二蒸发源盖板本体3与水平面之间的倾斜角为0°至90°。如图1所示，第一蒸发源盖板本体2与水平面之间倾斜角优选为150°，第二蒸发源盖板本体3与水平面之间的倾斜角优选为60°。

在本实施例中，所述双层网状编织结构4由第一编织层41和第二编织层42编织而成，所述网状编织结构4紧贴第一蒸发源盖板本体2或第二蒸发源盖板本体3的上表面21、23或下表面22、24。

在本实施例中，所述第一编织层41的网孔孔径小于第二编织层42的网孔孔径。

在本实施例中，所述第一编织层41的编织条宽度大于第二编织层42 的编织条的宽度。

所述第一编织层41和第二编织层42的网孔形状根据需要制成。如图2 所示，在本实施例中，所述第一编织层41和第二编织层42的网孔形状为矩形。

这样，蒸镀材料从蒸镀喷头1喷出进行蒸镀工作时，沉积下来的蒸镀材料会被左侧的第一蒸发源盖板本体上下表面21,22和右侧的第二蒸发源盖板本体上下表面23,24覆设的网状编织结构4所吸收，避免了蒸镀材料过量沉积而造成蒸镀喷头堵塞的问题。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，其他网状编织结构的盖板设计，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。