一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构变换不同位置，遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
【专利说明】
一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统
技术领域
[0001]本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。
【背景技术】
[0002]在显示技术领域，OLED蒸镀工艺在进行蒸镀过程中需要进行蒸镀材料的速率控制。目前，在OLED的蒸镀腔室内通常设置有多个蒸镀源，每个蒸镀源中的蒸镀材料用于蒸镀形成OLED器件的一个功能层(如发光层、电子传输层或空穴传输层)。每个蒸镀源的正上方都分别设置有一块挡板，挡板与蒸镀源的蒸镀面平行，且挡板的大小恰好能够遮挡与其对应的蒸镀源的蒸镀面。
[0003]每个蒸镀源在蒸镀开始时，挡板拿掉之后才能开始对蒸镀材料的速率进行控制，同时向待镀基板上进行蒸镀。一个蒸镀源蒸镀完后，下一个蒸镀源重复同样的过程进行另一种蒸镀材料的速率控制和蒸镀。这种蒸镀方法不仅蒸镀时间过长，而且往往在蒸镀材料的速率还没有稳定时，部分蒸镀材料就已经蒸镀到待镀基板上，使待镀基板上的蒸镀膜厚控制不够精准，既浪费蒸镀材料，又影响基板上该蒸镀膜层的品质。
[0004]目前的蒸镀工艺不但使OLED显示器件良率低，而且极大地提高了OLED显示器件的成本，使OLED显示器件一直处于难以取代IXD显示器件的境地。特别是对于G2.5产线产生了诸如产能低、材料成本高、时间伴随成本高、重复性稳定性差等问题，且这些问题成为阻碍OLED发展的瓶颈问题。
【发明内容】
[0005]本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
[0006]本发明提供一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，所述动力机构用于带动所述遮挡机构变换不同位置，所述遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。
[0007]优选地，所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板均位于所述蒸镀源的上方，且所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板在所述蒸镀源所在平面上的正投影分别位于所述蒸镀源的相对两侧；
[0008]所述动力机构用于设置在所述蒸镀源的与所述待镀基板位置相对应的一侧，所述动力机构包括动力源、第一带动件和第二带动件，所述动力源与所述第一带动件活动连接，所述第一带动件与所述第二带动件活动连接，所述动力源能带动所述第一带动件转动，以使所述第一带动件带动所述第二带动件转动；
[0009]所述遮挡机构连接所述第二带动件，所述遮挡机构能在所述第二带动件的带动下在与所述蒸镀源的轴线夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。
[0010]优选地，所述遮挡机构呈矩形板状，所述遮挡机构的长边沿远离所述动力机构的方向延伸，所述遮挡机构的宽度大于等于所述蒸镀源的直径;所述遮挡机构能在其板面与所述蒸镀源的轴线夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。
[0011]优选地，所述遮挡机构呈圆筒状，所述圆筒的一端筒口用于与所述蒸镀源的蒸镀面相对，所述圆筒的筒径沿远离所述动力机构的方向延伸，所述圆筒的直径大于等于所述蒸镀源的直径;所述遮挡机构能在其筒径与所述蒸镀源的轴线夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。
[0012]优选地，所述遮挡机构采用金属材料。
[0013]优选地，所述遮挡机构的用于面向所述蒸镀源的遮挡面设置为网格状。
[0014]优选地，所述动力源包括气动源或电动源，所述第一带动件包括蜗杆，所述第二带动件包括涡轮;所述蜗杆与所述涡轮相互活动啮合，所述动力源能带动所述蜗杆转动，所述蜗杆能带动所述祸轮转动。
[0015]优选地，还包括控制模块，所述控制模块与所述动力机构连接，用于控制所述动力机构动作，以带动所述遮挡机构遮挡所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道；以及带动所述遮挡机构变换位置，以使所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道开启。
[0016]本发明还提供一种蒸镀系统，包括上述遮挡装置。
[0017]优选地，还包括蒸镀源、蒸镀速率感应器和蒸镀膜厚控制器，所述蒸镀源用于向待镀基板上蒸镀膜层;所述蒸镀速率感应器用于采集所述蒸镀源的蒸镀速率，并将采集的所述蒸镀速率发送给所述蒸镀膜厚控制器;所述蒸镀膜厚控制器用于根据所述蒸镀速率控制蒸镀到所述待镀基板上的膜层厚度；
[0018]所述遮挡装置的控制模块连接所述蒸镀膜厚控制器，所述蒸镀膜厚控制器还用于控制所述控制模块向动力机构发出控制指令。
[0019]本发明还提供一种如上述遮挡装置的遮挡方法，包括:
[0020]在蒸镀速率控制阶段，动力机构带动遮挡机构遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；
[0021]在蒸镀阶段，所述动力机构带动所述遮挡机构开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。
[0022]本发明的有益效果:本发明所提供的遮挡装置，通过设置遮挡机构，既能在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；又能在蒸镀阶段开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启，实现了在蒸镀之前能够提前进行蒸镀材料的速率控制，蒸镀开始时，蒸镀材料的速率已经达到稳定，从而实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，进而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
[0023]本发明所提供的蒸镀系统，通过采用上述遮挡装置，实现了该蒸镀系统的连续性蒸镀控制，使该蒸镀系统不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
【附图说明】
[0024]图1为本发明实施例1中遮挡装置的结构示意图；
[0025]图2为图1中遮挡机构的遮挡面的结构俯视图；
[0026]图3为图1中的遮挡机构在蒸镀速率控制阶段的设置位置示意图；
[0027]图4为图1中的遮挡机构在蒸镀阶段的设置位置示意图；
[0028]图5为本发明实施例2中遮挡装置的结构示意图。
[0029]其中的附图标记说明:
[0030]1.动力机构；11.第一带动件；12.第二带动件;2.遮挡机构;L.遮挡机构的长边;W.遮挡机构的宽度;3.蒸镀源;31.蒸镀源的轴线;4.待镀基板;5.蒸镀速率感应器。
【具体实施方式】
[0031]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明所提供的一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统作进一步详细描述。
[0032]实施例1:
[°033 ]本实施例提供一种遮挡装置，如图1所示，包括动力机构I和遮挡机构2，动力机构I用于带动遮挡机构2变换不同位置，遮挡机构2用于遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启;还用于开启蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启。
[0034]该遮挡装置通过设置遮挡机构2，实现了既能在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启；又能在蒸镀阶段开启蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启，从而实现了在蒸镀之前能够提前进行蒸镀材料的速率控制，蒸镀开始时，蒸镀材料的速率已经达到稳定，进而实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，同时不仅提高了产能，而且节约了成本，还提高了蒸镀的稳定性和良率。
[0035]本实施例中，蒸镀速率感应器5和待镀基板4均位于蒸镀源3的上方，且蒸镀速率感应器5和待镀基板4在蒸镀源3所在平面上的正投影分别位于蒸镀源3的相对两侧。动力机构I用于设置在蒸镀源3的与待镀基板4位置相对应的一侧，动力机构I包括动力源(图中未示出)、第一带动件11和第二带动件12，动力源与第一带动件11活动连接，第一带动件11与第二带动件12活动连接，动力源能带动第一带动件11转动，以使第一带动件11带动第二带动件12转动。遮挡机构2连接第二带动件12，遮挡机构2能在第二带动件12的带动下在与蒸镀源3的轴线31夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。
[0036]其中，动力源包括气动源(如气缸)或电动源(如电机)，第一带动件11包括蜗杆，第二带动件12包括涡轮;蜗杆与涡轮相互活动啮合，动力源能带动蜗杆转动，蜗杆能带动涡轮转动。当然，第一带动件11和第二带动件12的结构并不仅仅局限于上述涡轮和蜗杆的结构。第一带动件11和第二带动件12的设置，使遮挡机构2转动起来更加灵活，从而能更加灵活地实现遮挡机构2对蒸镀通道的遮挡和开启，同时还大大减小了遮挡机构2转动时消耗的能量。
[0037]基于遮挡装置的上述结构，遮挡机构2逆时针转动，能够实现在蒸镀速率控制阶段对蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道进行遮挡，从而确保在蒸镀源3的蒸镀材料速率没有达到稳定之前，不会蒸镀到待镀基板4上;遮挡机构2顺时针转动，能够实现在蒸镀阶段开启蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启，从而确保了待镀基板4上的镀膜质量。
[0038]其中，遮挡机构2呈矩形板状，遮挡机构2的长边L沿远离动力机构I的方向延伸，遮挡机构2的宽度W大于等于蒸镀源3的直径;遮挡机构2能在其板面与蒸镀源3的轴线31夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。蒸镀源3为将蒸镀材料设置在圆柱体状的蒸镀腔室内，蒸镀时，对腔室内的蒸镀材料进行加热升温，使蒸镀材料向上蒸发。在蒸镀前的蒸镀速率控制阶段，遮挡机构2逆时针转动到其板面与蒸镀源3的轴线31夹角在0-90°范围内的某一角度如60°时，能使其恰好遮挡住蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，使蒸镀材料无法蒸镀到待镀基板4上，从而避免在蒸镀速率控制阶段速率不稳定的蒸镀材料蒸镀到待镀基板4上，造成蒸镀膜层异常。当蒸镀源3开始蒸镀时，遮挡机构2顺时针转动到其板面与蒸镀源3的轴线31夹角在0-90°范围内的某一角度如90°时，能使遮挡机构2的板面不再遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，同时还能保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启，此时，蒸镀源3能够将蒸镀材料正常蒸镀到待镀基板4上，同时，蒸镀速率感应器5能够正常监测并控制蒸镀速率。当蒸镀源3不蒸镀时，遮挡机构2转动到其板面恰好将蒸镀源3的蒸镀开口盖合的位置。
[0039]本实施例中，遮挡机构2采用金属材料。金属材料的遮挡机构2具有对蒸镀材料的良好的承载作用，即由于在蒸镀速率控制阶段，遮挡机构2遮挡了蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，所以蒸镀材料在该阶段会有部分蒸镀到遮挡机构2上，金属材料的遮挡机构2不容易使蒸镀到其上的蒸镀材料脱落下来，从而避免了脱落的蒸镀材料落入蒸镀源3中后对蒸镀的质量造成不良影响。
[0040]本实施例中，如图2所示，遮挡机构2的用于面向蒸镀源3的遮挡面设置为网格状。网格状的遮挡面能使蒸镀到该面上的蒸镀材料牢固地附着于网格内，从而进一步提高了遮挡机构2对蒸镀到其上的蒸镀材料的承载能力，使蒸镀到其上的蒸镀材料不容易脱落，确保蒸镀能够正常进行。
[0041]需要说明的是，也可以只让遮挡机构2的遮挡面采用金属材料，而遮挡机构2的其他部分采用塑料或陶瓷等重量比较轻的材料，如此还能够减小遮挡机构2整体的重力，使遮挡机构2不容易因为重力而发生转动位置改变。
[0042]本实施例中，遮挡装置还包括控制模块(图中未示出)，控制模块与动力机构I连接，用于控制动力机构I动作，以带动遮挡机构2遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道；以及带动遮挡机构2变换位置，以使蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道开启。控制模块的设置，使遮挡机构2的位置变换更加智能化，从而进一步提高了蒸镀效率。
[0043]基于遮挡装置的上述结构，本实施例还提供一种该遮挡装置的遮挡方法，包括:在蒸镀速率控制阶段，动力机构I带动遮挡机构2遮挡蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启(如图3所示)。在蒸镀阶段，动力机构I带动遮挡机构2开启蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道开启(如图4所示)。
[0044]实施例2:
[0045]本实施例提供一种遮挡装置，与实施例1不同的是，如图5所示，遮挡机构2呈圆筒状，圆筒的一端筒口用于与蒸镀源3的蒸镀面相对，圆筒的筒径沿远离动力机构I的方向延伸，圆筒的直径大于等于蒸镀源3的直径;遮挡机构2能在其筒径与蒸镀源3的轴线31夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。
[0046]本实施例中，在蒸镀速率控制阶段，圆筒状的遮挡机构2转动到遮挡位置时，恰好能将蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道完全遮挡住，避免在蒸镀速率控制阶段速率不稳定的蒸镀材料蒸镀到待镀基板4上，造成蒸镀膜层异常。
[0047]其中，在蒸镀速率控制阶段，圆筒状遮挡机构2恰好能转到其另一端筒口与蒸镀速率感应器5正相对，即圆筒筒径的延伸方向恰好与蒸镀源3与蒸镀速率感应器5之间的蒸镀通道延伸方向一致，此时，蒸镀源3蒸发出来的蒸镀材料恰好沿圆筒状遮挡机构2的筒内向蒸镀速率感应器5蒸镀，以对蒸镀材料的蒸镀速率进行控制；同时，在该阶段，蒸镀源3的蒸镀材料无法蒸镀到待镀基板4上。在这种情况下，优选地，圆筒状遮挡机构2的内筒面设置为网格状。
[0048]本实施例中遮挡装置的其他结构以及遮挡方法与实施例1中相同，此处不再赘述。
[0049]另外需要说明的是，遮挡机构2也可以采用其他形状的结构，只要能够在蒸镀速率控制阶段对蒸镀源3与待镀基板4之间的蒸镀通道实现遮挡即可。
[0050]实施例1-2的有益效果:实施例1-2所提供的遮挡装置，通过设置遮挡机构，既能在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；又能在蒸镀阶段开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启，实现了在蒸镀之前能够提前进行蒸镀材料的速率控制，蒸镀开始时，蒸镀材料的速率已经达到稳定，从而实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，进而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
[0051 ] 实施例3:
[0052 ]本实施例提供一种蒸镀系统，包括实施例1 -2任意一个中的遮挡装置。
[0053]其中，蒸镀系统还包括蒸镀源、蒸镀速率感应器和蒸镀膜厚控制器，蒸镀源用于向待镀基板上蒸镀膜层。蒸镀速率感应器用于采集蒸镀源的蒸镀速率，并将采集的蒸镀速率发送给蒸镀膜厚控制器。蒸镀膜厚控制器用于根据蒸镀速率控制蒸镀到待镀基板上的膜层厚度。遮挡装置的控制模块连接蒸镀膜厚控制器，蒸镀膜厚控制器还用于控制该控制模块向动力机构发出控制指令。
[0054]通过采用实施例1-2任意一个中的遮挡装置，实现了该蒸镀系统的连续性蒸镀控制，使该蒸镀系统不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
[0055]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种遮挡装置，包括动力机构和遮挡机构，其特征在于，所述动力机构用于带动所述遮挡机构变换不同位置，所述遮挡机构用于遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启;还用于开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。2.根据权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板均位于所述蒸镀源的上方，且所述蒸镀速率感应器和所述待镀基板在所述蒸镀源所在平面上的正投影分别位于所述蒸镀源的相对两侧； 所述动力机构用于设置在所述蒸镀源的与所述待镀基板位置相对应的一侧，所述动力机构包括动力源、第一带动件和第二带动件，所述动力源与所述第一带动件活动连接，所述第一带动件与所述第二带动件活动连接，所述动力源能带动所述第一带动件转动，以使所述第一带动件带动所述第二带动件转动； 所述遮挡机构连接所述第二带动件，所述遮挡机构能在所述第二带动件的带动下在与所述蒸镀源的轴线夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。3.根据权利要求2所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡机构呈矩形板状，所述遮挡机构的长边沿远离所述动力机构的方向延伸，所述遮挡机构的宽度大于等于所述蒸镀源的直径;所述遮挡机构能在其板面与所述蒸镀源的轴线夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。4.根据权利要求2所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡机构呈圆筒状，所述圆筒的一端筒口用于与所述蒸镀源的蒸镀面相对，所述圆筒的筒径沿远离所述动力机构的方向延伸，所述圆筒的直径大于等于所述蒸镀源的直径;所述遮挡机构能在其筒径与所述蒸镀源的轴线夹角为0-90°的范围内顺时针和逆时针转动。5.根据权利要求1-4任意一项所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡机构采用金属材料。6.根据权利要求1-4任意一项所述的遮挡装置，其特征在于，所述遮挡机构的用于面向所述蒸镀源的遮挡面设置为网格状。7.根据权利要求2所述的遮挡装置，其特征在于，所述动力源包括气动源或电动源，所述第一带动件包括蜗杆，所述第二带动件包括涡轮;所述蜗杆与所述涡轮相互活动啮合，所述动力源能带动所述蜗杆转动，所述蜗杆能带动所述涡轮转动。8.根据权利要求1所述的遮挡装置，其特征在于，还包括控制模块，所述控制模块与所述动力机构连接，用于控制所述动力机构动作，以带动所述遮挡机构遮挡所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道；以及带动所述遮挡机构变换位置，以使所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道开启。9.一种蒸镀系统，其特征在于，包括权利要求1-8任意一项所述的遮挡装置。10.根据权利要求9所述的蒸镀系统，其特征在于，还包括蒸镀源、蒸镀速率感应器和蒸镀膜厚控制器，所述蒸镀源用于向待镀基板上蒸镀膜层;所述蒸镀速率感应器用于采集所述蒸镀源的蒸镀速率，并将采集的所述蒸镀速率发送给所述蒸镀膜厚控制器;所述蒸镀膜厚控制器用于根据所述蒸镀速率控制蒸镀到所述待镀基板上的膜层厚度； 所述遮挡装置的控制模块连接所述蒸镀膜厚控制器，所述蒸镀膜厚控制器还用于控制所述控制模块向动力机构发出控制指令。11.一种如权利要求1-8任意一项所述的遮挡装置的遮挡方法，其特征在于，包括:在蒸镀速率控制阶段，动力机构带动遮挡机构遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持所述蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启； 在蒸镀阶段，所述动力机构带动所述遮挡机构开启所述蒸镀源与所述待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持所述蒸镀源与所述蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。
【文档编号】C23C14/54GK106086783SQ201610509680
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月30日
【发明人】付文悦, 王小虎, 陈立强
【申请人】京东方科技集团股份有限公司