技术编号:14384851
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及OLED(Organic Light Emitting Diode,有机发光二极管)制备技术领域,尤其涉及一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备。背景技术在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺,其是指在一定真空条件下加热蒸镀材料,使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽,然后凝结在基板表面成膜,从而形成OLED器件的功能层。蒸镀工艺按照蒸镀源(蒸镀材料的加热装置)的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀。对于线源蒸镀而言,一般会在蒸镀源与基板之间设置角度限制机构,用以限制蒸镀源喷出...
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