一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备的制作方法

本实用新型涉及OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)制备技术领域，尤其涉及一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备。

背景技术：

在基板上形成OLED器件通常采用蒸镀工艺，其是指在一定真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

蒸镀工艺按照蒸镀源(蒸镀材料的加热装置)的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀。对于线源蒸镀而言，一般会在蒸镀源与基板之间设置角度限制机构，用以限制蒸镀源喷出的材料沉积在基板上的范围，从而保证蒸镀质量。

现有技术中的角度限制机构包括两个限制件，两个限制件分别固定于蒸镀源的两侧，且包括互相靠近的两个限制端，蒸镀源喷出材料的角度范围通常较大，其中一定角度范围的材料会穿过两个限制端之间的空隙到达基板，其余材料则会被两个限制件挡住，从而限制了蒸镀源喷出的材料沉积在基板上的范围。

然而，该角度限制机构的两个限制件位置固定，致使穿过两个限制端之间的材料角度固定，因此在生产过程中若需要变更角度则必须停机更换限制件，进而导致生产效率降低。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备，可解决现有蒸镀用角度限制机构在生产过程中若需要变更角度则必须停机更换限制件而导致生产效率降低的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀用角度限制机构，包括两个限制件，两个所述限制件包括互相靠近的限制端，两个所述限制端用于共同限定蒸镀源喷出的材料能够通过二者之间的角度范围，至少一个所述限制件连接有驱动件，所述驱动件用于驱动相应的所述限制件运动，随着所述限制件的运动，两个所述限制端共同限定出的所述角度范围可改变。

进一步的，随着所述限制件的运动，两个所述限制端共同限定出的所述角度范围可变为0°。

进一步的，随着所述限制件的运动，两个所述限制端可重叠。

进一步的，所述驱动件为旋转电机，所述旋转电机用于驱动相应的所述限制件转动。

进一步的，所述旋转电机为伺服电机。

进一步的，所述限制件为圆弧形板。

进一步的，所述圆弧形板所对的圆心角为45°。

本实用新型实施例还提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀源，还包括上述任一技术方案中的蒸镀用角度限制机构。

进一步的，当所述限制件为圆弧形板时，所述圆弧形板的圆心位于所述蒸镀源的出口处。

本实用新型实施例提供的蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备，由于包括两个限制件，两个所述限制件包括互相靠近的限制端，两个所述限制端用于共同限定蒸镀源喷出的材料能够通过二者之间的角度范围，且至少一个所述限制件连接有驱动件，所述驱动件用于驱动相应的所述限制件运动，随着所述限制件的运动，两个所述限制端共同限定出的所述角度范围可改变，即本实用新型实施例提供的蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备可通过驱动件驱动相应的限制件运动来实时变更角度，因此在生产过程中无需停机更换限制件，从而避免了生产效率降低的问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例蒸镀用角度限制机构的示意图；

图2为两种材料共蒸的情况下，右侧蒸镀用角度限制机构的关闭过程示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1，本实用新型实施例提供了一种蒸镀用角度限制机构，包括两个限制件1，两个限制件1包括互相靠近的限制端A，两个限制端A用于共同限定蒸镀源2喷出的材料能够通过二者之间的角度范围a，进而限制蒸镀源2喷出的材料沉积在基板3上的范围，需要说明的是，蒸镀源2喷出材料的角度范围通常较大，其中一定角度范围的材料会通过两个限制端A之间的空隙到达基板3，其余材料则会被两个限制件1挡住；至少一个限制件1连接有驱动件4，驱动件4用于驱动相应的限制件1运动，随着限制件1的运动，两个限制端A共同限定出的角度范围a可改变。优选的，两个限制件1均连接有驱动件4。图1中箭头所示为限制件1的运动方向。

本实用新型实施例提供的蒸镀用角度限制机构，由于包括两个限制件1，两个限制件1包括互相靠近的限制端A，两个限制端A用于共同限定蒸镀源2喷出的材料能够通过二者之间的角度范围a，且至少一个限制件1连接有驱动件4，驱动件4用于驱动相应的限制件1运动，随着限制件1的运动，两个限制端A共同限定出的角度范围a可改变，即本实用新型实施例提供的蒸镀用角度限制机构可通过驱动件4驱动相应的限制件1运动来实时变更角度(在几种材料共蒸的情况下，可改变材料的混合比)，因此在生产过程中无需停机更换限制件1，从而避免了生产效率降低的问题。

在某些情况下(例如：切换基板3、共蒸时蒸镀某一种材料以测定厚度、两种材料先后蒸镀)，不希望蒸镀源2喷出的材料沉积在基板3上，可通过气缸(图中未示出)驱动挡板(图中未示出)运动至两个限制端A之间，来阻挡蒸镀源2喷出的材料通过两个限制端A之间的空隙到达基板3；但这种方式中，挡板和限制件1为两个单独的部件，一方面在蒸镀源2的有限区域内需要谨慎配合，否则可能互相干涉，另一方面使得蒸镀用角度限制机构结构复杂，且维护时拆装不便；

为了避免上述两个问题，本实施例中随着限制件1的运动，两个限制端A共同限定出的角度范围a可变为0°，此时蒸镀源2喷出的材料则不能通过两个限制端A之间的空隙到达基板3，从而使限制件1具备了挡板的开闭功能，由此即可避免使用挡板，这样一方面从根本上杜绝了限制件1和挡板互相干涉的情况，另一方面使得蒸镀用角度限制机构的结构更精简，维护时拆装也更方便。

具体的，两个限制端A对接或重叠均可使两个限制端A共同限定出的角度范围a变为0°，本实施例优选随着限制件1的运动，两个限制端A重叠，如图2中的(c)所示，相比两个限制端A对接的情况，本实施例可完全避免材料泄漏，从而避免了污染腔室的问题。

优选的，驱动件4为旋转电机，所述旋转电机用于驱动相应的限制件1转动，相比驱动件4用于驱动限制件1移动，本实施例无需在水平方向上为限制件1预留过多的活动空间，从而减小了蒸镀用角度限制机构占用的空间。

所述旋转电机优选为伺服电机，伺服电机对限制件1的控制更加准确稳定，从而使两个限制端A限定出的角度范围a更加准确稳定，进而保证了蒸镀质量。

限制件1优选为圆弧形板，相比平板，圆弧形板在转动时其限制端A的运动轨迹更规律，因此限定出的角度范围a同样更加准确稳定。

所述圆弧形板所对的圆心角优选为45°，一方面可避免圆弧形板的尺寸过大，从而避免了蒸镀用角度限制机构占用空间过大的问题，另一方面可避免圆弧形板的尺寸过小，从而保证了限制件1对蒸镀源2喷出的材料的阻挡效果。

本实用新型实施例还提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀源2，还包括上述任一实施例所述的蒸镀用角度限制机构。

本实用新型实施例提供的蒸镀设备，由于蒸镀用角度限制机构包括两个限制件1，两个限制件1包括互相靠近的限制端A，两个限制端A用于共同限定蒸镀源2喷出的材料能够通过二者之间的角度范围a，且至少一个限制件1连接有驱动件4，驱动件4用于驱动相应的限制件1运动，随着限制件1的运动，两个限制端A共同限定出的角度范围a可改变，即本实用新型实施例提供的蒸镀设备可通过蒸镀用角度限制机构中的驱动件4驱动相应的限制件1运动来实时变更角度，因此在生产过程中无需停机更换限制件1，从而避免了生产效率降低的问题。

参照图1和图2，当限制件1为圆弧形板时，所述圆弧形板的圆心位于蒸镀源2的出口处，由此，一方面减小了蒸镀用角度限制机构在水平方向上占用的空间，另一方面保证了蒸镀用角度限制机构对蒸镀源2喷出的材料的阻挡效果。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。