一种蒸镀坩埚的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，属于OLED制备技术领域。所述蒸镀坩埚包括坩埚、第一导热管和高温流体供应部，所述第一导热管沿着所述坩埚的侧壁设置，所述第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通；所述高温流体供应部用于向所述第一导热管供应高温流体。本实用新型通过第一导热管设置在坩埚的侧壁上，由于管道的抗变形能力较强，保证在使用本实用新型的过程中，第一导热管能够与坩埚的侧壁保持良好接触，以将高温流体的热量传递到坩埚的侧壁上，进而保证热量的利用率。
【专利说明】
一种蒸镀坩埚
技术领域
[0001 ] 本实用新型涉及0LED(0rganic Light Emitting D1de，有机发光二极管)制备技术领域，特别涉及一种蒸镀坩祸。
【背景技术】
[0002]OLED是一种有机发光二极管，在制造OLED时，使用坩祸将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。
[0003]目前的坩祸外部包裹有加热丝，在使用坩祸蒸镀用于制作OLED的有机材料时，先将有机材料盛放于坩祸内，再对加热丝通电，加热丝将电能转化为热能而对坩祸进行加热，坩祸的侧壁将加热丝产生的热量传递至位于坩祸内的有机材料中，有机材料在高温下升华或汽化为气体，气体上升并遇到位于坩祸上方的OLED基板，在OLED基板上发生凝华，从而将有机材料蒸镀到OLED基板上。
[0004]在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题:
[0005]加热丝在高温环境下容易变形，加热丝变形后不能很好地与坩祸的外壁接触，导致加热丝上的热量不能传导至坩祸上，热量的利用率较低。
【实用新型内容】
[0006]为了解决现有技术的加热丝在高温环境下容易发生变形，且加热丝变形后不能很好的与坩祸的外壁接触，热量的利用率较低的问题，本实用新型实施例提供了一种蒸镀坩祸。所述技术方案如下:
[0007]—种蒸镀坩祸，所述蒸镀坩祸包括坩祸、第一导热管和高温流体供应部，所述第一导热管沿着所述坩祸的侧壁设置，所述第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通；
[0008]所述高温流体供应部用于向所述第一导热管供应高温流体。
[0009]具体地，所述第一导热管为一根竖直盘管，所述竖直盘管的外轮廓形状与所述坩祸的外轮廓形状一致，所述竖直盘管与所述坩祸的侧壁紧贴。
[0010]具体地，所述蒸镀坩祸包括多根第一导热管，且所述多根第一导热管中的每根第一导热管均为直管，所述每根第一导热管均与所述坩祸的侧壁紧贴，且所述每根第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通。
[0011]具体地，所述多根第一导热管沿所述坩祸的侧壁均匀分布。
[0012]进一步地，所述第一导热管沿所述坩祸的内侧壁设置，且所述第一导热管的入口和出口均从所述坩祸的侧壁穿出。
[0013]进一步地，所述蒸镀坩祸还包括第二导热管，所述第二导热管设置在所述坩祸内部，所述第二导热管的入口和出口均从所述坩祸的侧壁穿出并与所述高温流体供应部连通，所述第二导热管用于将所述高温流体的热量直接传递到位于所述坩祸内部的有机材料中。
[0014]具体地，所述蒸镀坩祸包括多根第二导热管，所述多根第二导热管中的每根第二导热管均为直管或盘管，且所述每根第二导热管的入口和出口均从所述坩祸的侧壁穿出并与所述高温流体供应部连通。
[0015]具体地，所述每根第二导热管均为平面螺旋盘管，所述多根第二导热管由下至上分别设置在所述坩祸内部，且所述每根第二导热管所在的平面均与所述坩祸的轴线垂直。
[0016]进一步地，所述多根第二导热管沿所述坩祸的轴线等间距设置。
[0017]具体地，所述多根第二导热管为外轮廓形状一致且外轮廓尺寸互不相同的竖直盘管，其由外至内依次嵌套设置在所述坩祸内部，且所述每根第二导热管的轴线均与所述坩祸的轴线共线。
[0018]进一步地，所述多根第二导热管按照由所述坩祸的轴线到侧壁的方向由密至疏。
[0019]具体地，所述多根第二导热管的数量为三根。
[0020]具体地，所述每根第二导热管均为直管，所述每根第二导热管的两端分别固定在所述坩祸的侧壁上，所述多根第二导热管在所述坩祸内部形成管网。
[0021]具体地，所述第一导热管和所述第二导热管的材料包括钛合金、钼、钨、铜或铝。
[0022]具体地，所述高温流体供应部包括高温流体加热部、流体输入管道和流体输出管道，所述流体输入管道上设有第一单向阀，所述高温流体加热部通过所述流体输入管道与所述第一导热管的出口连通；
[0023]所述流体输出管道上设有第二单向阀，所述高温流体加热部通过所述流体输出管道与所述第一导热管的入口连通。
[0024]具体地，所述高温流体为高温气体。
[0025]进一步地，所述高温流体供应部还包括安全管道、电磁阀和压力表，所述安全管道设置在所述高温流体加热部上，且所述安全管道与所述高温流体加热部连通，所述电磁阀和所述压力表分别设置在所述安全管道上，且所述压力表位于所述电磁阀与所述高温流体加热部之间；
[0026]所述安全管道用于释放所述高温流体加热部内的压力。
[0027]进一步地，所述蒸镀坩祸还包括保温筒，所述保温筒套在所述坩祸外部，所述保温筒与所述坩祸之间形成密闭的环形空间，所述第一导热管沿所述坩祸的外侧壁设置，所述保温筒用于减少所述第一导热管的热量散失。
[0028]具体地，所述坩祸包括内层和外层，所述内层和所述外层压合固定，所述内层的材料包括钛合金、钼、钨、铜或铝，所述外层的材料包括钛或钛合金。
[0029]具体地，所述坩祸为柱体，且所述坩祸的横截面形状为圆形、矩形或方形。
[0030]本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是:
[0031]本实用新型通过第一导热管设置在坩祸的侧壁上，由于管道的抗变形能力较强，保证在使用本实用新型的过程中，第一导热管能够与坩祸的侧壁保持良好接触，以将高温流体的热量传递到坩祸的侧壁上，进而保证热量的利用率。
【附图说明】
[0032]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1是本实用新型一实施例提供的蒸镀坩祸的使用状态示意图；
[0034]图2是本实用新型又一实施例提供的第一导热管与坩祸的结构示意图；
[0035]图3是本实用新型又一实施例提供的第一导热管的结构示意图；
[0036]图4是本实用新型又一实施例提供的第一导热管与坩祸的结构示意图；
[0037]图5是本实用新型又一实施例提供的第一导热管与坩祸的结构示意图；
[0038]图6是本实用新型又一实施例提供的第一导热管、第二导热管与坩祸的结构示意图；
[0039]图7是本实用新型又一实施例提供的第二导热管与坩祸的结构示意图；
[0040]图8是本实用新型又一实施例提供的第二导热管与坩祸的结构示意图；
[0041 ]图9是本实用新型又一实施例提供的第二导热管与坩祸的结构示意图；
[0042]图10是本实用新型又一实施例提供的坩祸的结构示意图；
[0043]图11是本实用新型又一实施例提供的坩祸的结构示意图。
[0044]其中:
[0045]I 坩祸，
[0046]11 侧壁，
[0047]12坩祸盖，
[0048]2第一导热管，
[0049]21第一导热管的入口，
[0050]22第一导热管的出口，
[0051 ]3高温流体加热部，
[0052]4 OLED基板，
[0053]5第一单向阀，
[0054]6第二单向阀，
[0055]7安全管道，
[0056]8电磁阀，
[0057]9压力表，
[0058]10第二导热管，
[0059]101第二导热管的入口，
[0060]102第二导热管的出口。
【具体实施方式】
[0061]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
[0062]如图1所示，本实用新型实施例提供了一种蒸镀坩祸，该蒸镀坩祸包括坩祸1、第一导热管2和高温流体供应部(图中未示出)，第一导热管2沿着坩祸I的侧壁11设置，第一导热管的入口 21和第一导热管的出口 22均与高温流体供应部连通；
[0063]高温流体供应部用于向第一导热管2供应高温流体。
[0064]在本实用新型实施例中，坩祸I上方盖有坩祸盖12，坩祸盖12上设有通气孔(图中未示出)，0LED基板4设置在坩祸I的正上方，有机材料置于坩祸I内。蒸镀时，高温流体供应部向第一导热管2供应高温流体，高温流体在第一导热管2内流动的过程中将热量传递给第一导热管2的管壁，经第一导热管2的管壁传递到坩祸I的侧壁11上，从而通过坩祸I的侧壁11传递到有机材料中，使有机材料受热蒸发或升华，有机材料蒸发或升华产生的气体经坩祸盖12上的通气孔离开坩祸I，并在OLED基板4上发生凝华，从而将有机材料蒸镀到OLED基板4上。
[0065]本实用新型通过第一导热管2设置在坩祸I的侧壁11上，由于管道的抗变形能力较强，保证在使用本实用新型的过程中，第一导热管2能够与坩祸I的侧壁11保持良好接触，以将高温流体的热量传递到坩祸I的侧壁11上，进而保证热量的利用率。
[0066]如图1所示，在本实用新型实施例中，高温流体供应部包括高温流体加热部3、流体输入管道和流体输出管道，流体输入管道上设有第一单向阀5，高温流体加热部3通过流体输入管道与第一导热管的出口 22连通；
[0067]流体输出管道上设有第二单向阀6，高温流体加热部3通过流体输出管道与第一导热管的入口 21连通。
[0068]通过第一单向阀5和第二单向阀6保证高温流体在高温流体供应部和第一导热管2之间单向流动，保证高温流体的温度。其中，高温流体为高温气体或高温液体，高温气体如水蒸气或乙醇蒸汽等，高温液体如铁水、纳水或钢水等，高温流体的温度和种类以保证能让有机材料发生汽化或升华为准。
[0069]当然，本领域技术人员可知，在高温流体加热部3与第一导热管2之间，高温流体也可能发生液态和气态的状态转化，如高温流体加热部3向第一导热管2输出的是高温气体，该高温气体在第一导热管2内通过第一导热管2的管壁与有机材料发生热交换而液化，转化为液态，经第一导热管2重新回到高温流体加热部3后因高温流体加热部3的加热而汽化，又转化为气态。
[0070]如图1所示，在本实用新型实施例中，高温流体供应部还包括安全管道7、电磁阀8和压力表9，安全管道7设置在高温流体加热部3上，且安全管道7与高温流体加热部3连通，电磁阀8和压力表9分别设置在安全管道7上，且压力表9位于电磁阀8与高温流体加热部3之间；
[0071]安全管道7用于释放高温流体加热部3内的压力。
[0072]由于高温流体加热部3内的气压较高时存在一定的危险性，故在本实用新型实施例中，通过压力表9检测高温流体加热部3内的气压，当高温流体加热部3内的气压达到一定值时打开电磁阀8，通过安全管道7释放高温流体加热部3内的压力，从而保证高温流体加热部3的安全性。
[0073]如图2所示，在本实用新型实施例中，第一导热管2为一根竖直盘管，竖直盘管的外轮廓形状与坩祸I的外轮廓形状一致，且竖直盘管与坩祸I的侧壁11紧贴。
[0074]在本实用新型实施例中，竖直盘管套在坩祸I外部，且与坩祸I的侧壁11紧贴，结构简单，便于安装，且布管难度较小。当然，本领域技术人员可知，为了保证坩祸I的侧壁11受热均匀，竖直盘管可以将整个坩祸I的侧壁11包裹起来。
[0075]其中，竖直盘管可以为如图2所示的竖直螺旋盘管，也可为由如图3所示的波形的第一导热管2绕制成盘状所得的竖直盘管。
[0076]如图4所示，在本实用新型实施例中，蒸镀坩祸包括多根第一导热管2，且多根第一导热管2中的每根第一导热管2均为直管，每根第一导热管2均与坩祸I的侧壁11紧贴，且每根第一导热管的入口 21和每根第一导热管的出口 22均与高温流体供应部连通。
[0077]在本实用新型实施例中，多根第一导热管2分别通过焊接或卡箍固定在坩祸I夕卜部，且第一导热管2为直管，便于加工。
[0078]当然，本领域技术人员可知，每根第一导热管2还可为如图3所示的波形管，当坩祸I的横截面形状为矩形或方形时，坩祸I的每个侧壁11上分别设置一根如图3所示的波形的第一导热管2，通过第一导热管2将高温流体的热量传导至坩祸I的侧壁11上。
[0079]如图4所示，在本实用新型实施例中，多根第一导热管2沿坩祸I的侧壁11均匀分布，保证坩祸I的侧壁11受热均匀，从而保证坩祸I内的有机材料受热均匀。
[0080]如图5所示，在本实用新型实施例中，第一导热管2沿坩祸I的内侧壁设置，且第一导热管的入口 21和第一导热管的出口 22均从坩祸I的侧壁11穿出。
[0081]在本实用新型实施例中，通过第一导热管2沿坩祸I的内侧壁设置，第一导热管2的管壁的一部分与坩祸I的内侧壁接触，通过坩祸I的内侧壁将高温流体的热量传递至坩祸I内部的有机材料中，第一导热管2的管壁的另一部分直接与有机材料接触，通过第一导热管2的管壁将高温流体的热量直接传导至坩祸I内的有机材料中，避免第一导热管2与外界空气发生热交换而导致热量散失，进而提高热量的利用率，且由于蒸镀时坩祸I内为真空环境，还可避免第一导热管2发生氧化损坏，延长第一导热管2的使用寿命。
[0082]如图6所示，在本实用新型实施例中，蒸镀坩祸还包括第二导热管10，第二导热管10设置在坩祸I内部，第二导热管的入口 101和第二导热管的出口 102均从坩祸I的侧壁11穿出并与高温流体供应部连通，第二导热管10用于将高温流体的热量直接传递到位于坩祸I内部的有机材料中。
[0083]在本实用新型实施例中，由于热量在有机材料中传导的速率较慢，导致位于坩祸I中部的有机材料受热较慢，影响蒸镀速率的稳定性，进而影响制备的OLED的效果，且位于坩祸I中部的有机材料还可能存在过度蒸镀的现象，导致有机材料变性而不能使用，因此，在坩祸I内部设置第二导热管10，通过第二导热管10直接将热量传导至位于坩祸I内部的有机材料中，保证整个坩祸I内部的有机材料受热均匀，保证蒸镀速率稳定，进而保证制备的OLED的效果，避免出现材料变性而发生浪费。
[0084]在本实用新型实施例中，第二导热管的入口101通过流体输入管道与高温流体加热部3连通，且流体输入管道上设有第三单向阀，第二导热管的出口 102通过流体输出管道与高温流体加热部3连通，且流体输出管道上设有第四单向阀，通过第三单向阀和第四单向阀控制高温流体在高温流体加热部3和第二导热管10中单向循环。
[0085]如图7所示，蒸镀坩祸包括多根第二导热管10，多根第二导热管10中的每根第二导热管10均为直管或盘管，且每根第二导热管的入口 101和每根第二导热管的出口 102均从坩祸I的侧壁11穿出并与高温流体供应部连通。
[0086]在本实用新型实施例中，通过多根第二导热管10将高温流体的热量传导至位于坩祸I内部的有机材料中，保证坩祸I内的有机材料受热均匀。
[0087]如图8所示，在本实用新型实施例中，每根第二导热管10均为平面螺旋盘管，多根第二导热管10由下至上分别设置在坩祸I内部，且每根第二导热管10所在的平面均与坩祸I的轴线垂直。
[0088]在本实用新型实施例中，多根第二导热管10相互平行地设置在坩祸I内部，通过多根平面螺旋盘管将高温流体的热量直接传导至坩祸I内部的有机材料中，保证坩祸I内部的有机材料能快速充分受热。
[0089]在本实用新型实施例中，优选地，多根第二导热管10沿坩祸I的轴线等间距设置，保证在沿坩祸I轴线方向上有机材料受热均匀，减小蒸镀过程中有机材料发生爆沸的几率。
[0090]其中，在本实用新型实施例中，多根第二导热管10的数量为三根，三根水平螺旋盘管从下至少依次设置在坩祸I内部，在保证坩祸I内部的材料能够充分受热的基础上，避免因第二导热管10的数量过多影响有机材料蒸发或升华产生的气体由坩祸I内逸出的速率。
[0091]如图9所示，在本实用新型实施例中，多根第二导热管10为外轮廓形状一致且外轮廓尺寸互不相同的竖直盘管，其由外至内依次嵌套设置在坩祸I内部，且每根第二导热管10的轴线均与坩祸I的轴线共线。
[0092]在本实用新型实施例中，当坩祸I的横截面形状为圆形时，第二导热管10的外轮廓形状与图2中所示的第一导热管2的外轮廓形状一致，多根第二导热管10由外至内依次嵌套设置在坩祸I内，其中，为了避免安装过程中多根第二导热管的入口 101和多根第二导热管的出口 102处的管道相互干涉，通过坩祸I的侧壁11上设置通孔，将多根第二导热管10安装到位后，由坩祸I的侧壁11上的通孔向坩祸I内伸入连接管，使第二导热管的入口 101和第二导热管的出口 102分别与高温流体供应部连通。
[0093]如图9所示，在本实用新型实施例中，多根第二导热管10按照由坩祸I的轴线到侧壁11的方向由密至疏。
[0094]在本实用新型实施例中，由于靠近坩祸I的侧壁11的有机材料主要通过坩祸I的侧壁11获得热量，而位于坩祸I中部的有机材料主要通过第二导热管10获得热量，通过多根第二导热管10按照由坩祸I的轴线到侧壁11的方向由密至疏，保证位于坩祸I中部的有机材料能够获得与靠近坩祸I的侧壁11的有机材料相同的热量，从而保证坩祸I内部的有机材料受热均匀。
[0095]如图9所示，在本实用新型实施例中，多根第二导热管10的数量为三根，在保证坩祸I内部的有机材料能够充分受热的基础上，避免因第二导热管1的数量过多而影响有机材料蒸发或升华产生的气体由坩祸I内逸出的速率。
[0096]如图7所示，在本实用新型实施例中，每根第二导热管10均为直管，每根第二导热管10的两端分别固定在坩祸I的侧壁11上，多根第二导热管10在坩祸I内部形成管网。
[0097]在本实用新型实施例中，坩祸I的侧壁11上设有通孔，多根第二导热管的入口101及多根第二导热管的出口 102分别通过焊接或卡接固定在坩祸I上，且第二导热管的入口101和第二导热管的出口 102分别由坩祸I的侧壁11的通孔上露出，便于第二导热管10与高温流体供应部连接。其中，第二导热管1为直管，便于加工。
[0098]当然，本领域技术人员可知，每根第二导热管10还可与如图3所示的第一导热管2的结构相同。
[0099]在本实用新型实施例中，优选地，第一导热管2和第二导热管10的材料包括钛合金、钼、钨、铜或铝，导热性好，且耐高温，保证第一导热管2和第二导热管10的使用寿命较长。
[0100]在本实用新型实施例中，蒸镀坩祸还包括保温筒(图中未示出)，保温筒套在坩祸I外部，保温筒与坩祸I之间形成密闭的环形空间，第一导热管2沿坩祸I的外侧壁设置，保温筒用于减少第一导热管2的热量散失。
[0101]通过保温筒与坩祸I之间形成密闭的环形空间，第一导热管2位于保温筒和坩祸I的外侧壁之间，避免第一导热管2直接与外界空气发生热交换，减少第一导热管2的热量散失，提高热量的利用率，且避免第一导热管2直接与空气接触而发生氧化损坏。
[0102]在本实用新型实施例中，坩祸I包括内层和外层，内层和外层压合固定，内层的材料包括钛合金、钼、钨、铜、银或铝，外层的材料包括钛合金或钛。
[0103]通过坩祸I的外层的材料包括钛合金或钛中的一种，使得坩祸I在高温下不变形，保证坩祸I的强度，而由于钛合金、钼、钨、铜、银或铝的导热性好且耐高温，故通过坩祸I的内层增强坩祸I的侧壁11的导热性，保证第一导热管2上的热量能够充分通过坩祸I的侧壁11传递到有机材料中。
[0104]如图10所示，也可参见图11，在本实用新型实施例中，坩祸I为柱体，且坩祸I的横截面形状为圆形(如图11所示)、矩形或方形(如图1O所示)。
[0105]上述本实用新型实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。
[0106]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种蒸镀坩祸，其特征在于，所述蒸镀坩祸包括坩祸、第一导热管和高温流体供应部，所述第一导热管沿着所述坩祸的侧壁设置，所述第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通； 所述高温流体供应部用于向所述第一导热管供应高温流体。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述第一导热管为一根竖直盘管，所述竖直盘管的外轮廓形状与所述坩祸的外轮廓形状一致，所述竖直盘管与所述坩祸的侧壁紧贴。3.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述蒸镀坩祸包括多根第一导热管，且所述多根第一导热管中的每根第一导热管均为直管，所述每根第一导热管均与所述坩祸的侧壁紧贴，且所述每根第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述多根第一导热管沿所述坩祸的侧壁均勾分布。5.根据权利要求1-4任一项权利要求所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述第一导热管沿所述坩祸的内侧壁设置，且所述第一导热管的入口和出口均从所述坩祸的侧壁穿出。6.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述蒸镀坩祸还包括第二导热管，所述第二导热管设置在所述坩祸内部，所述第二导热管的入口和出口均从所述坩祸的侧壁穿出并与所述高温流体供应部连通，所述第二导热管用于将所述高温流体的热量直接传递到位于所述坩祸内部的有机材料中。7.根据权利要求6所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述蒸镀坩祸包括多根第二导热管，所述多根第二导热管中的每根第二导热管均为直管或盘管，且所述每根第二导热管的入口和出口均从所述坩祸的侧壁穿出并与所述高温流体供应部连通。8.根据权利要求7所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述每根第二导热管均为平面螺旋盘管，所述多根第二导热管由下至上分别设置在所述坩祸内部，且所述每根第二导热管所在的平面均与所述坩祸的轴线垂直。9.根据权利要求8所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述多根第二导热管沿所述坩祸的轴线等间距设置。10.根据权利要求7所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述多根第二导热管为外轮廓形状一致且外轮廓尺寸互不相同的竖直盘管，其由外至内依次嵌套设置在所述坩祸内部，且所述每根第二导热管的轴线均与所述坩祸的轴线共线。11.根据权利要求10所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述多根第二导热管按照由所述坩祸的轴线到侧壁的方向由密至疏。12.根据权利要求8-11任一项权利要求所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述多根第二导热管的数量为三根。13.根据权利要求7所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述每根第二导热管均为直管，所述每根第二导热管的两端分别固定在所述坩祸的侧壁上，所述多根第二导热管在所述坩祸内部形成管网。14.根据权利要求7所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述第一导热管和所述第二导热管的材料包括钛合金、钼、妈、铜或招。15.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述高温流体供应部包括高温流体加热部、流体输入管道和流体输出管道，所述流体输入管道上设有第一单向阀，所述高温流体加热部通过所述流体输入管道与所述第一导热管的出口连通； 所述流体输出管道上设有第二单向阀，所述高温流体加热部通过所述流体输出管道与所述第一导热管的入口连通。16.根据权利要求15所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述高温流体为高温气体。17.根据权利要求16所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述高温流体供应部还包括安全管道、电磁阀和压力表，所述安全管道设置在所述高温流体加热部上，且所述安全管道与所述高温流体加热部连通，所述电磁阀和所述压力表分别设置在所述安全管道上，且所述压力表位于所述电磁阀与所述高温流体加热部之间； 所述安全管道用于释放所述高温流体加热部内的压力。18.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述蒸镀坩祸还包括保温筒，所述保温筒套在所述坩祸外部，所述保温筒与所述坩祸之间形成密闭的环形空间，所述第一导热管沿所述坩祸的外侧壁设置，所述保温筒用于减少所述第一导热管的热量散失。19.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述坩祸包括内层和外层，所述内层和所述外层压合固定，所述内层的材料包括钛合金、钼、钨、铜或铝，所述外层的材料包括钛或钛合金。20.根据权利要求1所述的蒸镀坩祸，其特征在于，所述坩祸为柱体，且所述坩祸的横截面形状为圆形、矩形或方形。
【文档编号】C23C14/24GK205443431SQ201620255164
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】王选生, 金龙, 唐富强, 黄俊杰
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司