一种蒸镀系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀系统。
【背景技术】
[0002]真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀法)是在真空室中加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出形成蒸汽流，入射到衬底基板表面凝结形成固态薄膜的方法。真空蒸镀法已经广泛应用于显示器件的制作过程，例如OLED显示面板的包括阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的发光材料层，其中阴极和阳极一般采用真空蒸镀法形成。
[0003]具体的，如图1所示，将蒸镀基板11与掩膜板12对位放置，其中，蒸镀基板11位于掩膜板12的上面，蒸发源14位于掩膜板12的下面。由于在真空蒸镀过程中蒸镀基板11与掩膜板12有可能发生相对移动，造成成膜区域偏移，导致形成的薄膜精度差。如图1所示，现有技术中在蒸镀基板11的上面放置有一块盖板13，为了防止衬底基板11移动，盖板13与衬底基板11通过胶水等黏着在一起。如图1所示，盖板13上形成有多个通孔，在衬底基板11镀膜完成后，移动杆15穿过该通孔顶出蒸镀基板11，以使得蒸镀基板11与盖板13分离。但由于盖板13上的通孔较小，移动杆15与蒸镀基板11的接触面较小为“点状”，因此，现有技术称之为“点状”分离。“点状”分离会使得蒸镀基板11表面受力不均，从而出现基板点灯缺陷等问题。
【发明内容】
[0004]本发明的实施例提供一种蒸镀系统，蒸镀机构的盖板形成一个面积较大的框架区域，分离机构的支撑板在框架区域内与蒸镀基板具有较大的接触面积，以将蒸镀基板与盖板分离，从而改善“点状”分离出现的基板点灯缺陷等问题。
[0005]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0006]本发明实施例提供了一种蒸镀系统，包括:蒸镀机构以及分离机构，其中，
[0007]所述蒸镀机构用于在蒸镀基板的第一表面蒸镀薄膜，包括蒸镀源以及依次位于所述蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板和盖板;所述盖板包括:边框，所述边框形成一个包围的框架区域，所述边框和所述蒸镀基板的接触表面形成有黏着部，所述蒸镀基板与所述盖板黏着在一起；
[0008]所述分离机构用于在薄膜蒸镀完成后将所述蒸镀基板与所述盖板分离，包括:至少一个支撑板和与所述支撑板连接的至少一个移动杆，所述支撑板包括相对的第三表面和第四表面，所述支撑板的第三表面与所述框架区域的蒸镀基板的第二表面接触，其中，所述第二表面与所述第一表面相对；
[0009]所述移动杆与所述支撑板的第四表面连接，用于带动所述支撑板在所述框架区域上下方向移动，且所述第三表面的面积大于所述移动杆和所述支撑板的接触面积。
[0010]可选的，所述盖板还包括:位于所述框架区域的至少一个连接杆，所述连接杆与所述边框连接、将所述框架区域划分为至少两个框架子区域；
[0011]所述分离机构包括与所述框架子区域一一对应的支撑板，所述支撑板的第三表面与对应的框架子区域的蒸镀基板的第二表面接触。
[0012]可选的，所述至少两个框架子区域的面积相等。
[0013]可选的，所述支撑板的第三表面的面积大于所述框架子区域面积的二分之一。
[0014]可选的，所述蒸镀基板用于形成显示面板的母板，所述蒸镀基板划分有多个显示面板单元，所述框架子区域与所述显示面板单元一一对应。
[0015]可选的，所述蒸镀系统还包括:冷却器件;所述冷却器件用于降低所述蒸镀基板的温度。
[0016]可选的，所述冷却器件包括冷却管，气体和/或液体可在所述冷却管内流动，所述冷却管设置在所述支撑板未与所述蒸镀基板接触的表面上。
[0017]可选的，所述冷却管设置在所述支撑板的第四表面上。
[0018]可选的，所述冷却管在所述支撑板的表面上弯折排布。
[0019]可选的，所述支撑板为金属板。
[0020]本发明的实施例提供一种蒸镀系统，在蒸镀机构中盖板和蒸镀基板黏着在一起，蒸镀完成后需要将盖板和蒸镀基板分离，本发明实施例中的盖板形成为一个包围的框架区域，分离机构的支撑板与框架区域的蒸镀基板接触使得蒸镀基板向框架区域的上方移动从而与盖板分离。由于支撑板与蒸镀基板的接触面积大于支撑板与移动杆的接触面积，即相对于现有技术蒸镀基板与移动杆的点接触，本发明实施例中支撑板与蒸镀基板的接触方式为面接触，从而改善蒸镀基板因受力不均导致的点灯缺陷等问题。
【附图说明】
[0021]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为现有的真空蒸镀示意图；
[0023]图2为本发明实施例提供的一种对蒸镀基板进行薄膜蒸镀的示意图；
[0024]图3为本发明实施例提供的一种分离蒸镀基板和盖板的示意图；
[0025]图4为本发明实施例提供的另一种盖板示意图；
[0026]图5为本发明实施例提供的另一种盖板示意图；
[0027]图6为本发明实施例提供的另一种分离蒸镀基板和盖板的示意图；
[0028]图7为本发明实施例提供的一种分离机构的截面示意图；
[0029]图8为本发明实施例提供的另一种分离机构示意图。
[0030]附图标记:
[0031 ] 11-蒸镀基板；12-掩膜板；13-盖板；14-蒸发源;21-支撑板;22-移动杆;23-冷却管；111 -第一表面;112-第二表面;131 -边框;13 2-连接杆;200-框架区域;201 -框架子区域；213-第三表面;214-第四表面。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0033]本发明实施例提供了一种蒸镀系统，包括:蒸镀机构以及分离机构。
[0034]如图2所示，蒸镀机构用于在蒸镀基板11的第一表面111蒸镀薄膜，包括蒸镀源14以及依次位于蒸镀源14蒸镀方向侧的蒸镀基板11和盖板13;盖板13包括:边框131，边框131形成一个包围的框架区域200，边框131和蒸镀基板11的接触表面形成有黏着部，蒸镀基板11与盖板13黏着在一起。
[0035]需要说明的是，为了在蒸镀基板11上形成特定的薄膜图案，如图2所示，一般在蒸镀源14和蒸镀基板11之间还形成有掩膜板12。由于盖板13—般质量比较大，蒸镀基板11和盖板13黏着在一起，覆盖在掩膜板12的上面，可以防止蒸镀基板11和掩膜板12发生移动。
[0036]如图3所示，分离机构用于在薄膜蒸镀完成后将蒸镀基板11与盖板13分离，包括:至少一个支撑板21和与支撑板21连接的至少一个移动杆22，图3中以一个支撑板21与三个移动杆22连接为例。如图3所示，支撑板21包括相对的第三表面213和第四表面214，支撑板21的第三表面213与框架区域200的蒸镀基板11的第二表面112接触，其中，112第二表面与第一表面111相对。即分离机构是蒸镀机构中黏着的将蒸镀基板11和盖板13翻转180°，即在蒸镀机构中，蒸镀基板11的第一表面111位于第二表面112的下面，以在第一表面111上蒸镀形成薄膜。在分离机构中，蒸镀基板11的第二表面112位于第一表面111的下面，使得支撑板21的第三表面213与蒸镀基板11的第二表面112接触，以避免对形成的薄膜造成损伤。
[0037]移动杆22与支撑板21的第四表面214连接，用于带动支撑板21在框架区域200上下方向(即如图3所示的101方向)移动，且第三表面213的面积大于移动杆22和支撑板21的接触面积。
[0038]需要说明的是，现有技术中一般是移动杆通过过孔直接和蒸镀基板接触将蒸镀基板顶出。本发明实施例中，移动杆22与支撑板21的第四表面214接触连接，且移动杆22和支撑板2