1的接触面积小于第三表面213的面积。又由于第三表面213与框架区域200的蒸镀基板11的第二表面112接触，即本发明实施例中，移动杆22与支撑板21的第四表面的接触面积小于第三表面213与框架区域200的蒸镀基板11的第二表面112的接触面积。则由于支撑板21与蒸镀基板11的接触面积较大，则蒸镀基板11受到的移动杆22的支撑力比较均匀，从而改善现有的“点灯”缺陷的问题。
[0039]本发明实施例提供的一种蒸镀系统，在蒸镀机构中盖板和蒸镀基板黏着在一起，蒸镀完成后需要将盖板和蒸镀基板分离。本发明实施例中的盖板形成为一个包围的框架区域，分离机构的支撑板与该框架区域的蒸镀基板接触使得蒸镀基板向框架区域的上方移动从而与盖板分离，由于本发明实施例中支撑板与蒸镀基板的接触方式为面接触，从而避免蒸镀基板因受力不均导致的“点灯”缺陷等问题。
[0040]考虑到较大尺寸的蒸镀基板，若和图2所示的盖板黏着时，中间区域由于重力会下沉，导致蒸镀薄膜厚度不均匀。
[0041]本发明实施例优选的，如图4所示，盖板13还包括:位于框架区域200的至少一个连接杆132，连接杆132与边框131连接、将框架区域200划分为至少两个框架子区域201。图4中以盖板13包括两个连接杆132，且两个连接杆132将图2所示的框架区域200划分为三个框架子区域201为例。
[0042]当然，连接杆132的设置位置和方式也不局限于图4所示的方式，还可以是如图5所示，连接杆132位于框架区域200的对角线位置处，将框架区域200划分为两个框架子区域201。
[0043]优选的，至少两个框架子区域的面积相等。可以是如图4所示，两个连接杆132将框架区域200划分为三个面积相等的框架子区域201。从而使得盖板13对蒸镀基板11支撑力分散均匀，提高蒸镀薄膜的厚度一致性。
[0044]如图6所示，分离机构包括与框架子区域201--对应的支撑板21，支撑板21的第三表面213与对应的框架子区域201的蒸镀基板11的第二表面112接触。如图6所示，三个框架子区域201分别对应一个支撑板21，此时，一个支撑板21与一个移动杆22连接。
[0045]即连接杆132将框架区域200划分为三个框架子区域201，相应的，分离机构在对应每个框架子区域201分别设置一个支撑板21，每个支撑板21与一个移动杆22连接，以使得在每个框架子区域201的蒸镀基板11均可以通过一个支撑板21与盖板13分离。
[0046]支撑板与蒸镀基板的接触面积在小于框架子区域面积的情况下尽量大，以进一步增大支撑板与蒸镀基板的接触面积。优选的，支撑板21的第三表面213的面积大于框架子区域201面积的二分之一。
[0047]需要说明的是，如图4、图6所示，支撑板21的第三表面213和第四表面214的面积相等。当然，本发明实施例中的支撑板21还可以是如图7所示，第三表面213和第四表面214的面积可以不相等。且本发明实施例优选使得支撑板21与蒸镀基板11的接触面积尽量大，则支撑板21的第三表面213的面积大于等于第四表面214的面积。
[0048]优选的，蒸镀基板用于形成显示面板的母板，蒸镀基板划分有多个显示面板单元，框架子区域与显示面板单元一一对应。由于在连接杆213的位置处，支撑板21不能与蒸镀基板11接触，则对应连接杆位置处的蒸镀基板与框架区域的蒸镀基板受力不同。若框架子区域与显示面板单元一一对应，则每个显示面板单元的受力均匀，避免显示面板单元出现显示问题。
[0049]优选的，蒸镀系统还包括:冷却器件;冷却器件用于降低蒸镀基板的温度。由于蒸镀过程是将蒸镀的材料等离子化后喷涂在蒸镀基板上，因此形成的蒸镀薄膜的温度较高，比较容易变形。冷却期间将蒸镀基板的温度降低后，蒸镀基本上的薄膜的温度随之降低，而薄膜冷却后不易发生变形。
[0050]优选的，如图8所示，冷却器件包括冷却管23，气体和/或液体可在冷却管23内流动，冷却管23设置在支撑板21未与蒸镀基板接触的表面上。优选的，如图7所示，冷却管23设置在支撑板21的第四表面214上。即通过冷却管内低温气体和/或液体的流动降低支撑板的温度，从而支撑板与蒸镀基板接触后，降低蒸镀基板的温度。
[0051]优选的，如图8所示，冷却管23在支撑板21的表面上弯折排布。冷却管23弯折排布能进一步增大冷却管23与支撑板21的接触面积，从而更加迅速的降低支撑板21的温度。
[0052]优选的，支撑板为金属板。相对于塑料等材料的导热性能，金属的导热性更快，从而更有利于能量的传递和平衡，从而更加迅速的降低支撑板的温度。
[0053]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括:蒸镀机构以及分离机构，其中， 所述蒸镀机构用于在蒸镀基板的第一表面蒸镀薄膜，包括蒸镀源以及依次位于所述蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板和盖板;所述盖板包括:边框，所述边框形成一个包围的框架区域，所述边框和所述蒸镀基板的接触表面形成有黏着部，所述蒸镀基板与所述盖板黏着在一起； 所述分离机构用于在薄膜蒸镀完成后将所述蒸镀基板与所述盖板分离，包括:至少一个支撑板和与所述支撑板连接的至少一个移动杆，所述支撑板包括相对的第三表面和第四表面，所述支撑板的第三表面与所述框架区域的蒸镀基板的第二表面接触，其中，所述第二表面与所述第一表面相对； 所述移动杆与所述支撑板的第四表面连接，用于带动所述支撑板在所述框架区域上下方向移动，且所述第三表面的面积大于所述移动杆和所述支撑板的接触面积。2.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述盖板还包括:位于所述框架区域的至少一个连接杆，所述连接杆与所述边框连接、将所述框架区域划分为至少两个框架子区域； 所述分离机构包括与所述框架子区域一一对应的支撑板，所述支撑板的第三表面与对应的框架子区域的蒸镀基板的第二表面接触。3.根据权利要求2所述的蒸镀系统，其特征在于，所述至少两个框架子区域的面积相等。4.根据权利要求2所述的蒸镀系统，其特征在于，所述支撑板的第三表面的面积大于所述框架子区域面积的二分之一。5.根据权利要求2或3所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀基板用于形成显示面板的母板，所述蒸镀基板划分有多个显示面板单元，所述框架子区域与所述显示面板单元一一对应。6.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀系统还包括:冷却器件;所述冷却器件用于降低所述蒸镀基板的温度。7.根据权利要求6所述的蒸镀系统，其特征在于，所述冷却器件包括冷却管，气体和/或液体可在所述冷却管内流动，所述冷却管设置在所述支撑板未与所述蒸镀基板接触的表面上。8.根据权利要求7所述的蒸镀系统，其特征在于，所述冷却管设置在所述支撑板的第四表面上。9.根据权利要求7或8所述的蒸镀系统，其特征在于，所述冷却管在所述支撑板的表面上弯折排布。10.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述支撑板为金属板。
【专利摘要】本发明提供了一种蒸镀系统，涉及蒸镀技术领域，解决了现有技术中将蒸镀基板与盖板分离，出现的基板点灯缺陷等问题。一种蒸镀系统，蒸镀机构包括蒸镀源以及依次位于蒸镀源蒸镀方向侧的蒸镀基板和盖板；盖板包括：边框，边框形成一个包围的框架区域，边框和蒸镀基板的接触表面形成有黏着部，蒸镀基板与盖板黏着在一起；分离机构包括：至少一个支撑板和与支撑板连接的至少一个移动杆，支撑板包括相对的第三表面和第四表面，支撑板的第三表面与框架区域的蒸镀基板的第二表面接触，其中，第二表面与第一表面相对；移动杆与支撑板的第四表面连接，用于带动支撑板在框架区域上下方向移动，且第三表面的面积大于移动杆和支撑板的接触面积。
【IPC分类】C23C14/24, C23C14/56
【公开号】CN105543784
【申请号】CN201610006738
【发明人】胡长奇, 郭书鹏, 邹清华, 卜斌
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2016年1月4日