技术编号:1441489
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型揭示了一种芯片传输保护装置,包括挡板,所述挡板用于支撑晶盒;沉降系统,所述沉降系统一端连接于所述挡板,在晶盒放置于挡板上后沉降系统开始下降,直至晶盒与SMIF接触;清洁系统,所述清洁系统靠近所述SMIF上表面,当沉降系统下降时,清洁系统开始工作。那么当晶盒放置时,会首先接触挡板,在重力作用下使得沉降系统开始运作,同时触发清洁系统,使得SMIF表面整洁,减少SMIF表面与晶盒底面之间的微粒,从而降低摩擦,并且能够及时将摩擦产生的碎屑吸走,保证了SM...
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