技术编号:1446526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提出了一种清洗装置,用于对晶圆进行清洗,所述装置包括混合单元、与所述混合单元相连的第一管路、第二管路以及混合管路,其中所述混合管路还连接一喷头,所述喷头与所述晶圆正对,所述喷头与晶圆之间设有可活动的遮挡盘。在喷头与晶圆之间设置一可活动的遮挡盘,在进行喷等离子水或者氮气之前先使用遮挡盘对等离子水或氮气进行遮挡,直至混合单元将氮气和等离子水制作成高压水雾之后再移去遮挡盘,使高压水雾直接喷至晶圆的表面,进行清洗,防止等离子水或者氮气直接喷在晶圆的表面,...
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