技术编号:14513209
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种锆钛酸铅薄膜,特别涉及一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法。背景技术锆钛酸铅(PZT)化学式为PbZryTi1-yO3,是ABO3型钙钛矿相化合物,在居里温度以下,当原子比Zr/Ti=0.52:0.48或0.53:0.47时(即y=0.52或0.53),材料的介电、铁电和压电性能尤为突出。目前,锆钛酸铅材料已经广泛应用于超声换能器中。此外,随着微机械电子系统(MEMS)的发展,该材料也广泛应用于微机电系统中,例如微执行器、微传感器等,其执行单元大部分利用该材料作为驱...
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