技术编号:1479494
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关一种金属线清洗装置,尤指一种装设于金属线退火处理设备中, 用以对金属线进行退火前清洗的超音波清洗装置及具有该超音波清洗装置的退 火处理设备。背景技术在半导体封装制程中,常使用纯金、铝硅或其它种类合金的金属线将芯片 以打线接合方式电连接于电路板或引脚上。此种金属线的制作方式是将金属铸 块经过抽拉、拉伸,以及退火处理所形成。在上述抽拉的过程中,由于金属线表面容易沾附润滑油或润滑剂等污染物, 这些污染物在经过后续的退火处理时,容易受热而转附至退火装置(...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。