专利名称：超音波清洗装置及具有该超音波清洗装置的退火处理设备的制作方法
技术领域：
本发明有关一种金属线清洗装置，尤指一种装设于金属线退火处理设备中， 用以对金属线进行退火前清洗的超音波清洗装置及具有该超音波清洗装置的退 火处理设备。
背景技术：
在半导体封装制程中，常使用纯金、铝硅或其它种类合金的金属线将芯片 以打线接合方式电连接于电路板或引脚上。此种金属线的制作方式是将金属铸 块经过抽拉、拉伸，以及退火处理所形成。
在上述抽拉的过程中，由于金属线表面容易沾附润滑油或润滑剂等污染物， 这些污染物在经过后续的退火处理时，容易受热而转附至退火装置(如退火管) 上，因而影响到金属线的退火效果。
因此， 一般在退火处理之前，必须先对金属线进行清洗，以去除金属线上 的污染物，常用的清洗方式包括酸洗以及刷洗两种方式。然而，以酸液清洗不 仅成本较高且操作上较为危险，而刷洗则可能对金属线造成损伤，并且，上述 两种方式都无法有效地彻底清除金属线表面所沾附的污染物，此外，清洗过程 中所产生的废液还会对环境造成污染。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种可有效地彻底清除金属线沾附 的污染物的超音波清洗装置。
本发明的另一目的，在于提供一种具有上述超音波清洗装置的金属线退火 处理设备。
为达到上述目的，本发明提供一种超音波清洗装置，用以对金属线进行清洗，该清洗装置包含壳体、至少一个超音波产生器、盛液盘，以及循环单元。 壳体界定出供清洗液容装的清洗室、至少一个连通清洗室并供金属线穿入的入 线口、至少一个连通清洗室并供金属线穿出的出线口，以及供清洗液流出的出 水口。超音波产生器用以将超音波能量传导至清洗室中的清洗液。盛液盘设于 壳体下方，用以盛接由该壳体的出水口流出的清洗液。循环单元包含连通盛液 盘及壳体的管路，以及装设于管路上并用以驱动盛液盘中的清洗液经由管路输 送至清洗室的泵。
此外，本发明还提供一种具有上述超音波清洗装置的退火处理设备，该设 备包含用以提供金属线的供线装置、超音波清洗装置、退火装置，以及用以回 收经过该退火装置的金属线的收线装置。
超音波清洗装置包含壳体、超音波产生器、盛液盘，以及循环单元。壳体 界定出供清洗液容装的清洗室、连通清洗室并供金属线穿入的入线口、连通清 洗室并供金属线穿出的出线口，以及供清洗液流出的出水口。超音波产生器用 以将超音波能量传导至清洗室中的清洗液。盛液盘设于壳体下方，用以盛接由 该壳体的出水口流出的清洗液。循环单元包含连通盛液盘及壳体的管路，以及 装设于管路上并用以驱动盛液盘中的清洗液经由管路输送至清洗室的泵。
退火装置用以对该超音波清洗装置清洗过的金属线做退火处理，该退火装 置包含退火管，以及用以对该退火管进行加热的加热源。
本发明借由提供超音波清洗装置，对金属线进行退火前清洗，可清洁金属 线表面的污染物，防止污染物转附至退火管的管壁上，避免影响金属线的退火 效果。
图1为本发明超音波清洗装置的示意图； 图2为沿图1中2-2线的局部剖视图； 图3为本发明超音波清洗装置的示意图； 图4为本发明具有超音波清洗装置的退火处理设备的示意图；图5为本发明退火处理设备的退火装置的示意图。 附图标记说明
供线装置10线材导引装置20
滚轮21、 22超音波清洗装置30
壳体31清洗室311
入线口312出线口313
出水口314超音波产生器32
震荡头321盛液盘33
循环单元34管路340
泵341过滤器342
退火装置40退火管41
加热源42收线装置50
金属线60
具体实施例方式
有关本发明的技术内容及详细说明，配合
如下 参阅图1及图2，为依据本发明的较佳实施例的超音波清洗装置30，用以 对金属线60进行清洗，该清洗装置30包含管状壳体31、超音波产生器32、盛 液盘33,以及循环单元34。适用的金属线60的线径为0.0100 0.0500mm;适 用的金属线60的材质为金、银、铜、铝、镍、银合金、铝硅合金、镍合金、不 锈钢，或其它种类的合金线。
管状壳体31界定出供清洗液容装的清洗室311、连通清洗室311的入线口 312、连通清洗室311的出线口 313，以及位于壳体31 —端部并供清洗液流出 的出水口 314(如图3所示)。其中，入线口 312及出线口 313分别位于壳体31 的相反两侧。在本实施例中，入线口 312与对应的出线口 313的数量各以一个 为例，实际实施时不限于此。超音波产生器32具有穿伸入清洗室311中并接触清洗液的震荡头321,经 由震荡头321将超音波能量传导至清洗液。
盛液盘33设于壳体31的出水口 314下方，用以盛接由出水口 314流出的
清洗液。
循环单元34包含连通盛液盘33及壳体31的管路340、装设于管路340上 并用以驱动盛液盘33中的清洗液经由该管路340输送至清洗室311中的泵341, 以及装设于管路340并用以过滤管路340的清洗液的过滤器342。
实际操作时，将金属线60自壳体31的入线口 312穿入壳体31的清洗室 311中，并由出线口 313穿出壳体31,通过带有超音波能量的清洗液对污染物 作用，可使污染物自金属线60表面上脱落。
另外，参阅图3，依据本发明的另一较佳实施例的超音波清洗装置30,大 致上与图1中的超音波清洗装置相同，不同之处在于，本实施例的超音波清洗 装置30具有三组超音波产生器32，管状壳体31具有三组分别供金属线60穿 入及穿出的入线口 (图中未示出)，以及出线口313,可同时对三组金属线60进 行清洗。
参阅图4,为依据本发明的较佳实施例的具有超音波清洗装置的退火处理 设备的示意图，用以对金属线60进行退火处理，该退火处理设备包含供线装置 10、线材导引装置20、超音波清洗装置30、退火装置40,以及收线装置50。 适用的金属线60的线径为0.0100 ~0.0500mm;适用的金属线60的材质为金、 银、铜、铝、镍、银合金、铝硅合金、镍合金、不锈钢，或其它种类的合金线。
供线装置10供金属线60卷绕，并借驱动马达(图中未示出)以转动方式提 供金属线60。借配合调整供线装置10与收线装置50的转速，可调整金属线60 的张力。
线材导引装置20包含两个分别接触地设于金属线60的相反两侧的滚轮 21、 22,用以导引金属线60适当地进入超音波清洗装置30。此外，借由控制 其中一个滚轮21以使其不朝另 一滚轮22的方向对金属线60施压，还可对金属 线60的张力进行调整。超音波清洗装置30用以对通过线材导引装置20的金属线60进行清洗，超 音波清洗装置30包含管状壳体31、超音波产生器32、盛液盘33，以及循环单 元34(见图1)。管状壳体31供清洗液容装，入线口及出线口分别位于该壳体 31的外壁面的相反两侧，并供金属线60由壳体31 —侧穿伸通过至另一侧，。 超音波产生器32穿伸入壳体31中，用以将超音波能量传导至壳体31中的清洗 液。盛液盘33设于壳体31下方，用以盛接由壳体31流出的清洗液。循环单元 34用以将盛液盘33中的清洗液进行过滤并输送至壳体31中。
退火装置40包含至少一个退火管41,以及至少一个用以对退火管41进行 加热的加热源42。金属线60由退火管41的一个管口穿入退火管41，并由退火 管41相反的另 一管口穿出。本实施例釆用的加热源42为加热线圈(coil),实际 实施时，也可釆用红外线加热器(IR heater);适用的退火温度为0 300°C 。
需说明的是，图4中所示的供线装置10、线材导引装置20、超音波清洗装 置30、退火装置40,及收线装置50用以对单一金属线60进行处理为例，实际 实施时，也可利用三组供线装置10、线材导引装置20，及收线装置50,搭配 图3所示的超音波清洗装置30,以及图5所示的包含有三组退火管41及加热 源42的退火装置40,同时对三组金属线60进行处理。
参阅图4，收线装置50供金属线60卷绕，并借驱动马达(图中未示出)以 转动方式回收经过退火装置40的金属线60。
综上所述，借线材导引装置20的滚轮21、 22导引金属线60进入超音波清 洗装置30的清洗室311中进行清洗，再通过退火装置40进行退火，可清洁金 属线60表面的污染物，防止污染物转附至退火管41的管壁上，达成本发明的 功效。
上述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围。凡 依本发明权利要求书所作的变化与修饰，都属本发明的专利范围所涵盖。
权利要求
1、一种超音波清洗装置，该超音波清洗装置对金属线进行清洗，其特征在于，所述清洗装置包含壳体，界定出供清洗液容装的清洗室、至少一个连通该清洗室并供该金属线穿入的入线口、至少一个连通该清洗室并供该金属线穿出的出线口，以及供清洗液流出的出水口；至少一个用以将超音波能量传导至该清洗室中的清洗液的超音波产生器；用以盛接由该壳体的出水口流出的清洗液的盛液盘，设于该壳体下方；及循环单元，包含连通该盛液盘及该壳体的管路，以及装设于该管路上并用以驱动该盛液盘中的清洗液经由该管路输送至该清洗室的泵。
2、 如权利要求i所述的超音波清洗装置，其特征在于，所述壳体呈管状， 且该入线口及该出线口分别位于该管状壳体的相反两侧。
3、 如权利要求i所述的超音波清洗装置，其特征在于，所述超音波产生器具有穿伸入该清洗室中并接触清洗液的震荡头。
4、 如权利要求i所述的超音波清洗装置，其特征在于，所述循环单元还包含装设于该管路上并用以过滤该管路中的清洗液的过滤器。
5、 一种具有超音波清洗装置的退火处理设备，其特征在于，该设备包含用以提供金属线的供线装置；超音波清洗装置，所述超音波清洗装置包含壳体，界定出供清洗液容装的清洗室、连通该清洗室并供该金属线穿入的入线口、连通该清洗室并供该金属线穿出的出线口，以及供清洗液流出的出水口；用以将超音波能量传导至该 清洗室的清洗液中的超音波产生器；用以盛接由该壳体的出水口流出的清洗液 的盛液盘，设于该壳体下方；循环单元，包含连通该盛液盘及该壳体的管路， 以及装设于该管路上并用以驱动该盛液盘中的清洗液输送至该清洗室的泵；用以对该超音波清洗装置清洗过的金属线做退火处理的退火装置，该退火 装置包含退火管，以及用以对该退火管进行加热的加热源；及用以回收经过该退火装置的金属线的收线装置。
6、 如权利要求5所述的具有超音波清洗装置的退火处理设备，其特征在于, 所述壳体呈管状，该入线口及该出线口分别位于该壳体的外壁面的相反两侧。
7、 如权利要求5所述的具有超音波清洗装置的退火处理设备，其特征在于,所述超音波产生器具有穿伸入该清洗室中并接触清洗液的震荡头。
8、 如权利要求5所述的具有超音波清洗装置的退火处理设备,其特征在于， 所述循环单元还包含装设于该管路上并用以对该管路中的清洗液进行过滤的过滤器。
9、 如权利要求5所述的具有超音波清洗装置的退火处理设备,其特征在于， 所述退火装置的加热源可为加热线圈或红外线加热器。
10、 如权利要求5所述的具有超音波清洗装置的退火处理设备，其特征在 于，所述退火处理设备还包含用以导引该金属线的线材导引装置。
11、 如权利要求IO所述的具有超音波清洗装置的退火处理设备，其特征在 于，所述线材导引装置包含两个分别接触地设于该金属线两侧的滚轮。
全文摘要
本发明提供一种超音波清洗装置及具有该超音波清洗装置的退火处理设备，所述超音波清洗装置用以对金属线进行清洗，包含界定出供清洗液容装的清洗室的壳体、连通清洗室并供金属线穿入的入线口、连通清洗室并供金属线穿出的出线口，供清洗液流出的出水口、用以将超音波能量传导至清洗室中清洗液的超音波产生器、设于壳体下方的盛液盘、包含连通盛液盘及壳体管路的循环单元，以及装设于管路上用以驱动盛液盘中的清洗液经由管路输送至清洗室的泵。所述退火处理设备还包含提供金属线的供线装置；对该超音波清洗装置清洗过的金属线做退火处理的退火装置，该退火装置包含退火管及对该退火管进行加热的加热源；及用以回收经过退火装置的金属线的收线装置。
文档编号B08B3/12GK101468353SQ20071030706
公开日2009年7月1日 申请日期2007年12月28日 优先权日2007年12月28日
发明者叶金水, 李俊德 申请人:李俊德